[实用新型]陶瓷盘翻转机构

说明书

本实用新型涉及一种陶瓷盘翻转机构，包括支架、翻转动力件、翻转架及托架，所述翻转架设置在支架上并可绕支架旋转，所述翻转动力件与翻转架连接，所述托架固定在翻转架上，托架上固定有两托板，两托板之间形成用于垂直托起陶瓷盘边缘并避免其掉落的通道，翻转动力件可驱动翻转架带动托架翻转。该陶瓷盘翻转机构能够自动带动陶瓷盘翻转90度，定位可靠，精确度高，翻转速度快，从而便于后续清洗，大大提高了清洗效率和清洗质量。

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种陶瓷盘翻转机构。

背景技术

中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。

现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等，而用于贴合晶圆片的陶瓷盘在进行贴片前需要进行清洗、烘干等操作。现有技术中，陶瓷盘进行清洗时一般都是平躺进入超声波清洗槽，这就对超声波清洗槽的尺寸具有一定的要求，而平躺清洗的陶瓷盘表面会有残留的杂质，影响后续贴片，同时平躺清洗的效率较差。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种能使陶瓷盘自动翻转、使其从水平状态翻转为垂直状态的陶瓷盘翻转机构。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种陶瓷盘翻转机构，包括支架、翻转动力件、翻转架及托架，所述翻转架设置在支架上并可绕支架旋转，所述翻转动力件与翻转架连接，所述托架固定在翻转架上，托架上固定有两托板，两托板之间形成用于垂直托起陶瓷盘边缘并避免其掉落的通道，翻转动力件可驱动翻转架带动托架翻转。

为了保证其翻转的精确性，所述陶瓷盘翻转机构还包括定位组件，所述定位组件包括侧定位板、导轨、滑块及推杆，所述侧定位板固定在支架顶端，所述导轨对应设置在支架一侧，所述滑块设置在导轨上，所述推杆固定在滑块上，滑块可带动推杆沿导轨移动，使推杆推动陶瓷盘，并使陶瓷盘一端与侧定位板抵靠。

为了保证托架与陶瓷盘贴合，所述托架通过升降气缸设置在翻转架上，升降气缸可驱动托架上下升降。

为了避免陶瓷盘从托板上掉落，所述托板上开设有用于撑起陶瓷盘边缘的槽口。

为了保证翻转架的稳定性，所述支架上固定有支撑杆，用于支撑翻转架一端。

本实用新型的有益效果是：该陶瓷盘翻转机构能够自动带动陶瓷盘翻转90度，定位可靠，精确度高，翻转速度快，从而便于后续清洗，大大提高了清洗效率和清洗质量。

附图说明

图1为本实用新型的陶瓷盘翻转机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型的陶瓷盘翻转机构的另一方向的结构示意图；

图3为本实用新型的托架的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1、图2所示的一种陶瓷盘翻转机构，包括支架1、翻转动力件3、翻转架2及托架5，所述翻转架2设置在支架1上并可绕支架1旋转，支架1上固定有两支撑杆8，用于支撑翻转架2一端，所述翻转动力件3与翻转架2连接，所述托架5通过升降气缸10设置在翻转架2上，升降气缸10可驱动托架5上下升降，托架5上固定有两托板，两托板之间形成用于垂直托起陶瓷盘边缘并避免其掉落的通道，翻转动力件3可驱动翻转架2带动托架5翻转，从而带动陶瓷盘翻转。