[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构有效
申请号: | 201921320501.2 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN211497759U | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 罗立珍;李纲;郑启发;华冬辉 | 申请(专利权)人: | 湖南菲尔姆真空设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 赵琴娜 |
地址: | 410600 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 卧式 真空镀膜 进出 机构 | ||
1.一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构,其特征在于,设置有工件小车,所述工件小车设置有移动装置,所述移动装置设置有驱动所述工件小车移动的驱动组件和在所述工件小车退出真空镀膜室后支撑所述工件小车的支撑组件,所述工件小车设置有安装架和转台架,所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上,且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构,所述工件安装结构与所述转台架联动,从而在所述转台架转动时随之转动,所述驱动组件包括固定设置的导轨、安装于所述工件小车上并滑动架设于所述导轨上的滚轮和安装于所述工件小车上并驱动所述滚轮转动的驱动电机,所述支撑组件为若干可升降地设置于所述导轨上的定滑轮。
2.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构,其特征在于,所述支撑组件设置有升降驱动机构,所述定滑轮安装于所述升降驱动机构上。
3.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构,其特征在于,所述转台架设置有两个转盘组件和若干连杆,两个所述转盘组件之间对称设置于所述连杆的两端,从而于两个所述转盘组件之间形成工件装载空间,所述转盘组件包括固定齿圈、公转齿圈、传动组件和自转座组件,所述固定齿圈和公转齿圈的内圈均设置有轮齿,所述固定齿圈固定安装于所述安装架上,所述自转座组件设置有多个并同圆周地分布于所述公转齿圈上,且所述自转座组件设置有啮合所述固定齿圈的传动齿轮,所述公转齿圈通过多个所述传动齿轮与所述固定齿圈的配合而配装于所述固定齿圈上,所述传动组件设置有啮合所述公转齿圈的驱动齿轮,通过两个所述转盘组件上的所述自转座组件形成所述工件安装结构。
4.如权利要求3所述的一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构,其特征在于,所述安装架设置有水平的底板和竖直设置于所述底板的两端的侧板,所述固定齿圈固定安装于所述侧板上。
5.如权利要求4所述的一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构,其特征在于,所述侧板于所述公转齿圈的外周侧设置有若干承重定滑轮。
6.如权利要求3所述的一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构,其特征在于,相对的两个所述自转座组件设置有套筒结构,以此形成所述工件安装结构。
7.如权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构,其特征在于,所述工件小车的一端设置有遮挡结构。
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