[实用新型]一种全新的物理气相沉积钽腔体配件装置有效
| 申请号： | 201921328635.9 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN210394498U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 刘祥超 | 申请（专利权）人： | 上海知昊电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京中索知识产权代理有限公司 11640 | 代理人： | 赵登阳 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全新 物理 沉积 钽腔体 配件 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种全新的物理气相沉积钽腔体配件装置，包括块体(1)，其特征在于，所述块体(1)侧壁呈弧面状结构，且块体(1)顶部外壁设有等距离分布的直线凸起(2)，所述块体(1)侧壁设有等距离分布的圆形凸起(3)，且块体(1)底部外壁靠近一侧处设有限位块(4)，所述限位块(4)外壁开设有等距离分布的边槽(5)，所述块体(1)底部外靠近中心处设有中心块(6)，所述中心块(6)与限位块(4)之间留有间隙。
2.根据权利要求1所述的一种全新的物理气相沉积钽腔体配件装置，其特征在于，所述块体(1)、直线凸起(2)、圆形凸起(3)、限位块(4)和中心块(6)为一体成型结构。
3.根据权利要求1所述的一种全新的物理气相沉积钽腔体配件装置，其特征在于，所述中心块(6)的长度大于限位块(4)的长度。
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