[实用新型]生长大尺寸晶体的长晶炉有效
| 申请号： | 201921330840.9 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN211057276U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 宋建;张开端;张维刚;王雅儒 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 韩玉昆 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 生长 尺寸 晶体 长晶炉 | ||
1.一种生长大尺寸晶体的长晶炉，其特征在于，包括炉体、上盖和下盖，所述炉体与上盖和/或下盖通过工字型法兰连接，所述工字型法兰的侧壁设置抽气孔，所述抽气孔与所述炉体形成的炉腔连通。
2.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述炉体的底部套设第一法兰盘，所述第一法兰盘与所述工字型法兰的上法兰盘固定连接。
3.根据权利要求2所述的长晶炉，其特征在于，所述第一法兰盘与所述上法兰盘通过密封圈密封连接。
4.根据权利要求3所述的长晶炉，其特征在于，所述上法兰盘与所述炉体连接的内侧壁设置至少一个第一密封圈凹槽，与所述第一法兰盘接触的所述上法兰盘的顶壁顶面设置第二密封圈凹槽。
5.根据权利要求2所述的长晶炉，其特征在于，所述工字型法兰的下法兰盘与所述下盖用卡钳螺栓连接。
6.根据权利要求2所述的长晶炉，其特征在于，所述炉体的顶部套设第二法兰盘，所述上盖固定第三法兰盘，所述炉体与所述上盖通过所述的第二法兰盘和所述第三法兰盘固定连接。
7.根据权利要求6所述的长晶炉，其特征在于，所述上盖与第三法兰盘通过密封圈密封连接；
所述第二法兰盘与所述炉体通过密封圈密封连接；和
所述第二法兰盘与所述第三法兰盘通过密封圈密封连接。
8.根据权利要求7所述的长晶炉，其特征在于，所述第二法兰盘的内侧壁设置第三密封圈槽和第四密封圈槽，所述第二法兰盘的顶部设置第五密封圈槽；
所述第三法兰盘的顶壁设置第六密封圈槽和第七密封圈槽。
9.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述炉体的中间部分外周设置加热线圈，所述上盖设置充气口和观察窗。
10.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述炉体为石英管炉体，所述上盖为无磁金属上盖，所述下盖为无磁金属下盖，所述工字型法兰为无磁金属工字型法兰。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进材料科技有限公司，未经山东天岳先进材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921330840.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：易拆防脱的加油限量阀或限量排气组合阀总成
- 下一篇：一种地弹簧
