[实用新型]一种用于石英晶体片的清洗装置有效
申请号: | 201921331318.2 | 申请日: | 2019-08-16 |
公开(公告)号: | CN210876373U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 陶才群 | 申请(专利权)人: | 上海芯尚电子科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;B08B13/00;B08B15/04 |
代理公司: | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人: | 邢江峰 |
地址: | 200233 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 石英 晶体 清洗 装置 | ||
1.一种用于石英晶体片的清洗装置,包括底板、转盘、托盘,其特征在于:所述底板上固定连接有支撑架和支撑板;所述支撑架上固定连接有伺服电机和圆环形导轨,所述伺服电机的输出轴上固定连接有齿轮,所述导轨上开设有通孔,且齿轮的一部分穿过通孔;所述转盘为圆环形,所述转盘的下表面开设有导轨槽,所述导轨槽内固定连接有齿环,所述转盘通过导轨槽与导轨转动连接,且齿轮与齿环齿合;所述托盘为圆环形,所述托盘放置于转盘上,所述托盘上表面均匀的开设有置物槽;所述支撑板上设置有一竖向的滚珠丝杠模组,所述滚珠丝杠模组的滚珠螺母上固定连接滑板,所述滑板上固定连接有电清洗头。
2.根据权利要求1所述的一种用于石英晶体片的清洗装置,其特征在于,所述滚珠丝杠模组由伺服电机的输出轴与滚珠丝杠的螺杆固定连接而成。
3.根据权利要求2所述的一种用于石英晶体片的清洗装置,其特征在于,所述转盘的外圆周壁上固定连接有定位板,所述定位板上开设有定位孔,所述托盘外圆周壁上固定连接有卡板,且卡板插入定位孔内,该卡板用于防止转盘与托盘发生相对转动。
4.根据权利要求2所述的一种用于石英晶体片的清洗装置,其特征在于,所述支撑板上设置有吸尘罩。
5.根据权利要求2所述的一种用于石英晶体片的清洗装置,其特征在于,所述置物槽底部设置有透气孔。
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