[实用新型]一种螺旋形流体动压抛光垫有效
| 申请号： | 201921334507.5 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN210732094U | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 林彬;姜向敏;曹中臣 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B37/10;B24B37/26;B24B57/02;B24D11/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 王蒙蒙 |
| 地址： | 300350 天津市津南区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 螺旋形 流体 抛光 | ||
1.一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，包括：
抛光垫基体(1)，所述抛光垫基体(1)固定在具有中心供液功能的抛光盘上，并能在所述抛光盘的驱动下做旋转运动；
中心供液孔(2)，所述中心供液孔(2)设置在所述抛光垫基体(1)的中心，在抛光过程中，抛光液注入在所述中心供液孔(2)内；
中心储液区(3)，所述中心储液区(3)设置在所述中心供液孔(2)的边缘处；以及，
螺旋形动压槽，所述螺旋形动压槽均匀设置于所述抛光垫基体(1)的表面，所述螺旋形动压槽的内端部与所述中心储液区(3)相连通、外端部延伸至所述抛光垫基体(1)的边缘处，所述螺旋形动压槽将所述抛光液均匀分布在抛光垫与加工工件表面之间，随着抛光垫的旋转使得抛光垫与加工工件表面之间形成流体动压液膜。
2.根据权利要求1所述的一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，所述抛光垫基体(1)的材质为金属、橡胶、聚氨酯或抛光沥青的其中一种。
3.根据权利要求1所述的一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，所述抛光垫基体(1)的直径尺为10mm～200mm，厚度为2mm～5mm。
4.根据权利要求1所述的一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，所述螺旋形动压槽的螺旋线形状为指数型螺旋线、阿基米德型螺旋线或自由曲线螺旋线的其中一种。
5.根据权利要求1所述的一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，所述螺旋形动压槽的数目为2个～15个。
6.根据权利要求1所述的一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，所述螺旋形动压槽的深度为0.1mm～2mm。
7.根据权利要求1所述的一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，所述螺旋形动压槽为垂直型螺旋形动压槽(4)或具有倾角的螺旋形动压槽(5)的其中一种。
8.根据权利要求7所述的一种螺旋形流体动压抛光垫，其特征在于，所述具有倾角的螺旋形动压槽(5)的螺旋槽倾斜面(501)与水平面的夹角为0.5°～10°。
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