[实用新型]密封圈和工艺门

权利要求书

1.一种密封圈，其特征在于，所述密封圈包括密封圈本体，所述密封圈本体顶部的部分区域整体向上凸起形成凸出部，所述凸出部的宽度小于所述密封圈本体的宽度。

2.根据权利要求1所述的密封圈，其特征在于，所述密封圈本体的外表面包括环形底面、分别从所述环形底面的内周和外周连接于所述环形底面的第一圆弧面和第二圆弧面，所述凸出部的外表面为第三圆弧面，所述第三圆弧面分别与所述一圆弧面、第二圆弧面连接。

3.根据权利要求2所述的密封圈，其特征在于，在所述密封圈本体的横截面上，所述第一圆弧面和所述第二圆弧面的轮廓分别为第一圆弧和第二圆弧，且所述第一圆弧和所述第二圆弧相对于所述横截面上的中心线对称，所述第三圆弧面的轮廓为第三圆弧，所述第三圆弧的两个端点分别连接于所述第一圆弧和所述第二圆弧。

4.根据权利要求3所述的密封圈，其特征在于，在所述横截面上，所述第一圆弧与所述第三圆弧的公切线与所述环形底面之间形成第一夹角，所述第二圆弧与所述第三圆弧的公切线与所述环形底面之间形成第二夹角，所述第一夹角和所述第二夹角的角度范围均为30～60°。

5.根据权利要求4所述的密封圈，其特征在于，所述密封圈用于设置在环形燕尾槽内，所述环形燕尾槽设于工艺门与反应腔室的密封面上，且所述第一夹角、所述第二夹角分别与所述环形燕尾槽的底角相等。

6.一种工艺门，用于从底部密封反应腔室，其特征在于，所述工艺门与所述反应腔室的密封面上设有环形燕尾槽，所述环形燕尾槽内设有根据权利要求1-5中任一项所述的密封圈。

7.根据权利要求6所述的工艺门，其特征在于，所述工艺门包括工艺门本体和套设于所述工艺门本体上的固定压环，所述工艺门本体朝向所述反应腔室的表面的边缘设有环形槽，所述固定压环朝向所述反应腔室的一端的内壁上设有沿径向向内突出的环形凸起，所述环形槽与所述环形凸起配合形成所述环形燕尾槽。

8.根据权利要求7所述的工艺门，其特征在于，所述工艺门本体和所述固定压环通过连接件固定连接，且所述工艺门本体朝向所述反应腔室的表面与所述固定压环的朝向所述反应腔室的一端的端面齐平。

9.根据权利要求8所述的工艺门，其特征在于，所述工艺门本体的周壁上设有径向连接孔，所述固定压环的周壁上设有径向通孔，所述连接件穿过所述径向通孔和所述径向连接孔固定连接所述工艺门本体和所述固定压环。