[实用新型]一种复合介电钝化层结构太阳电池有效

专利信息
申请号: 201921341334.X 申请日: 2019-08-19
公开(公告)号: CN210092098U 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 王岚;张忠文;杨蕾;谢毅;苏荣 申请(专利权)人: 通威太阳能(成都)有限公司;通威太阳能(安徽)有限公司;通威太阳能(眉山)有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/04;H01L31/18
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 邓黎
地址: 610299 四川省成都市双流*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合 钝化 结构 太阳电池
【权利要求书】:

1.一种复合介电钝化层结构太阳电池,其特征在于:包括P型硅衬底(4)、以及依次包覆在P型硅衬底(4)外的全表面沉积氧化硅膜(3)、正面的较高n值氮化硅或氮氧化硅膜(12)、背面及周边氧化铝膜(2)和全表面覆盖的低n值氮化硅膜(1);

P型硅衬底(4)上侧设置有发射结区(9),所述发射结区(9)与P型硅衬底(4)之间设置有N++ SE重掺区(10);

所述P型硅衬底(4)设置有发射结区(9)的另一侧面设置有Local-BSF P++区(8),所述低n值氮化硅膜(1)的底部设置有Al背场(7),所述Al背场(7)设置有电极柱(11),所述电极柱(11)依次穿过低n值氮化硅膜(1)、背面及周边的氧化铝膜(2)、全表面的氧化硅膜(3),所述电极柱(11)的顶部与Local-BSF P++区(8)连接。

2.根据权利要求1所述的一种复合介电钝化层结构太阳电池,其特征在于:所述P型硅衬底(4)设置有N++ SE重掺区(10)的一侧设置有穿透复合介电钝化膜层Ag正电极(6),所述Ag正电极(6)依次穿过低n值氮化硅膜(1)、较高n值氮化硅或氮氧化硅膜(12)和全表面的氧化硅膜(3),所述Ag正电极(6)靠近P型硅衬底(4)的一端与发射结区(9)连接。

3.根据权利要求1所述的一种复合介电钝化层结构太阳电池,其特征在于:所述Al背场(7)上设置有Ag-Al或Ag背电极(5)。

4.根据权利要求1所述的一种复合介电钝化层结构太阳电池,其特征在于:所述Local-BSF P++区(8)为多个球缺而非锥形凹坑(13)组成。

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