[实用新型]离子传输接口装置

权利要求书

1.离子传输接口装置，包括：

壳体，用于给带电离子的传输提供真空的腔体环境；

分离锥，用于让带电离子通过并把大部分的反吹气分离出来用机械泵抽走；

离子通道，所述离子通道与分离锥对接；

其特征在于，所述离子传输接口装置还包括导电板及绝缘板，所述导电板安装于绝缘板上；

所述导电板及绝缘板的中部均设有用于输送带电离子的离子传输孔，导电板的离子传输孔与绝缘板的离子传输孔在同一条水平线上，所述分离锥的方向朝向离子传输孔；

所述导电板与分离锥之间具有电势差，电势差沿所述导电板至分离锥的方向的逐渐递减，带电离子通过离子传输孔根据电势差的梯度依次穿过导电板、绝缘板、分离锥，并进入离子通道。

2.如权利要求1所述离子传输接口装置，其特征在于，所述导电板包括有第一导电板、第二导电板，所述第一导电板与第二导电板之间具有电势差，该电势差沿所述第一导电板到第二导电板，再到所述分离锥的方向逐渐递减。

3.如权利要求2所述离子传输接口装置，其特征在于，所述绝缘板包括有第一绝缘板、第二绝缘板，所述第一导电板安装于第一绝缘板上，所述第二导电板安装于第二绝缘板上，所述第一绝缘板将第一导电板与第二导电板之间绝缘隔开，所述离子传输孔包括有第一离子传输孔及第二离子传输孔，所述第一导电板及第一绝缘板上的离子传输孔均为第一离子传输孔，所述第二导电板及第二绝缘板上的离子传输孔均为第二离子传输孔。

4.如权利要求3所述离子传输接口装置，其特征在于，所述离子传输孔还包括有第三离子传输孔，所述第三离子传输孔设置于分离锥上，所述分离锥通过第三离子传输孔引导带电离子进入离子通道，所述第一离子传输孔、第二离子传输孔、第三离子传输孔及离子通道均在同一条水平线上。

5.如权利要求3所述离子传输接口装置，其特征在于，还包括有用于吹出反吹气并带走未带电荷的粒子和其它杂质的反吹气接头，反吹气接头被安装于所述第一绝缘板上，反吹气接头的吹气方向朝向第一离子传输孔，第一导电板与第一绝缘板之间设有给反吹气吹向第一离子传输孔的间隙。

6.如权利要求2至5中任一项所述离子传输接口装置，其特征在于，还包括有陶瓷加热环及卡环，所述陶瓷加热环与所述第二导电板接触，通过卡环将陶瓷加热环卡接于第二导电板上，所述陶瓷加热环设有用于对陶瓷加热环加热的加热触点、用于检测陶瓷加热环温度的感应触点，所述加热触点相对于陶瓷加热环向外凸起，感应触点相对于陶瓷加热环向外凸起。

7.如权利要求6所述离子传输接口装置，其特征在于，还包括有多个导电顶针，所述导电顶针分别对应设置于所述第一导电板及第二导电板上，所述第二导电板上的导电顶针的数量至少为两个，所述第二导电板上的导电顶针与所述加热触点接触，所述第二导电板上的另一个导电顶针与所述感应触点接触。

8.如权利要求3所述离子传输接口装置，其特征在于，所述第二绝缘板上安装有用于顶住第二导电板上的导电顶针的弹性件，所述弹性件包括有弹簧及金属座，所述弹性件的一端顶在导电顶针上，弹性件的另一端顶在金属座上，第二导电杆上的导电顶针具有部分区域套设在弹簧上。

9.如权利要求2至5中任一项所述离子传输接口装置，其特征在于，还包括有用于安装真空泵体的真空泵接口。