[实用新型]清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统

说明书

本公开涉及半导体技术领域，提出了一种清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统，清洁机构用于清洁顶置缓冲器上的反光板，清洁机构包括：承载组件和清洁件，承载组件相对于顶置缓冲器位置可调节地设置；清洁件可拆卸地设置在承载组件上。本公开的清洁机构通过承载组件和清洁件可以实现对顶置缓冲器上的反光板自动清洁。在具体清洁时，承载组件带动清洁件移动到具体清洁位置，然后清洁件完成对反光板的清洁。由于承载组件可以相对于顶置缓冲器移动，即在整个清洁过程基本实现自动清洁，整个清洁过程较为高效。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，尤其涉及一种清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统。

背景技术

现有技术中，半导体集成电路中物料自动搬运系统(AMHS)包括：

空中走行式无人搬送车(OHT)：Overhead Hoist Transport，沿着设置在天花板下方的轨道，将前开式标准晶圆盒(FOUP)搬送至目的地站点。

顶置缓冲器(OHB)：Over Head Buffer，安装于天花板下方，用于存放FOUP。

OHB反光板：安装于OHB上。与OHT带有的二重搬入探测设备(sensor)配套使用，用于OHT侦测相应的OHB上是否已经存有FOUP，以此为依据，判断下一步是否要执行既定的取/放FOUP动作。

在具体使用过程中，OHB反光板需要定时清洁，其清洁的必要性：为保证正常工作，OHT二重搬入sensor的发射光强度需要保持在合理范围，如果对应的OHB反光板表面有污渍、水渍等因素导致反射光强不足，可能会导致OHT误判OHB上的存货情况，造成OHB使用效率下降。针对这种情况的解决方法是清洁OHB反光板。在已知的技术背景下，OHB反光板清洁都是手动进行，没有自动进行OHB反光板清洁的设备。

然而，手动清洁OHB反光板需要进行三米以上的登高作业，需要至少四名人员的配置(一名清洁人员，一名安全员，两名辅助人员)。此外，手动清洁OHB注意事项较多，流程较为繁琐，大量时间花费在手动停/开作业区域OHT，挂安全挡板等流程，而此流程在手动清洁的方式下是兼顾人员安全与生产效率的必要流程。

实用新型内容

本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种清洁机构、清洁车及物料自动搬运系统。

根据本实用新型的第一个方面，提供了一种清洁机构，用于清洁顶置缓冲器上的反光板，清洁机构包括：

承载组件，承载组件相对于顶置缓冲器位置可调节地设置；

清洁件，清洁件可拆卸地设置在承载组件上。

在本实用新型的一个实施例中，清洁件设置在承载组件朝向顶置缓冲器的一侧，以使清洁件与反光板所在平面相对设置；

其中，清洁件的至少部分沿靠近或远离反光板的方向可移动地设置。

在本实用新型的一个实施例中，清洁件包括：

第一清洁部，第一清洁部设置在承载组件上，第一清洁部包括用于清洁反光板的刷子。

在本实用新型的一个实施例中，第一清洁部还包括：

机械臂，机械臂设置在承载组件上，刷子设置在机械臂远离承载组件的一端；

其中，机械臂可活动地设置，以驱动刷子相对于反光板移动。

在本实用新型的一个实施例中，第一清洁部还包括：

控制模块，控制模块设置在承载组件上，控制模块与机械臂相连接，以控制机械臂相对于反光板活动。

在本实用新型的一个实施例中，清洁件包括：

第二清洁部，第二清洁部设置在承载组件上；