[实用新型]一种光斑调节装置

说明书

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种光斑调节装置，其包括底板，滑动设置在底板上的扩束镜后段，与扩束镜后段同轴设置且可调整其装载镜片的前后位置的扩束镜前段，以及设置在扩束镜后段一侧用于调整扩束镜前段和扩束镜后段之间距离的距离调节机构。通过距离调节机构调整扩束镜前段和扩束镜后段之间距离即可调节经过扩束镜前段和扩束镜后段的光束的光斑大小，再通过可调整其装载镜片的前后位置的扩束镜前段，可以对光斑的大小进行微调；本光斑调节装置具有结构简单，调节范围大，调节精度高，生产成本低等特点。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种光斑调节装置。

背景技术

LED晶元激光划片工段过程中，由于上游工段产品晶元片厚度与要求理想值具有一定浮动误差，且每一批次的晶圆片厚浮动极限不一致，所以处于下游加工段的晶圆切割需要经常调节光路中处于同一轴线的两个光斑在轴线上聚焦点的相对位置，同时激光光束需要保持较高同轴要求。传统的固定方法为手动平移至最佳光学工艺效果后，用锁紧螺丝将凹凸透镜座位锁紧固定，但是由于切割材料厚度、衬底、密度、切割道宽度会有差异，同一种激光参数无法在不同切割材料划出最好的效果，如果能根据不同材料实时变化不同的切割参数，就能在每一种材料上划出最好的效果。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种光斑调节装置，用于调节光斑大小，从而提高在不同材料上的切割效果。

本实用新型的技术方案如下：

本实用新型提供一种光斑调节装置，包括底板，滑动设置在底板上的扩束镜后段，与扩束镜后段同轴设置且可调整其装载镜片的前后位置的扩束镜前段，以及设置在扩束镜后段一侧用于调整扩束镜前段和扩束镜后段之间距离的距离调节机构。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述光斑调节装置还包括连接底板和扩束镜后段且用于调整扩束镜后段中心轴线位置的第一轴线调节机构，以及连接底板和扩束镜前段且用于调整扩束镜前段中心轴线位置的第二轴线调节机构。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述扩束镜前段包括套筒，滑动穿设在套筒上的内筒，以及设置在内筒一端且作为装载镜片的透镜。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述套筒上开设有导向槽，所述内筒上设置有在导向槽内滑动的开槽螺钉，所述内筒通过开槽螺钉与导向槽的配合与套筒滑动设置。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述扩束镜前段还包括套设在套筒外侧的设有内螺纹的活动外筒，所述开槽螺钉远离内筒的一端设置有与所述内螺纹配合的螺纹配合部。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述距离调节机构包括旋转驱动装置，连接旋转驱动装置和扩束镜后段的丝杠组件。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述距离调节机构还包括设置在底板上的滑轨，滑动设置在滑轨上的滑轨联接块，所述滑轨联接块连接扩束镜后段和丝杠组件。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述距离调节机构还包括设置在滑轨联接块上用于感应扩束镜后段位置的感应片。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述第一轴线调节机构包括设置有安装孔的调节架，设置在安装孔内的后段固定件，以及设置在调节架上用于调整后段固定件位置的第一调节螺栓和第二调节螺栓，所述后段固定件与扩束镜后段连接。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述第二轴线调节机构包括第一固定圈、第二固定圈、两端固定分别固定在第一固定圈和第二固定圈上的固定外筒、以及分别设置在第一固定圈和第二固定圈上用于调整固定外筒位置的第三调节螺丝和第四调节螺丝，所述固定外筒与套筒固定连接。