[实用新型]一种光斑形状调节装置及设备

说明书

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种光斑形状调节装置及设备，所述光斑形状调节装置包括包括用于改变光斑形状的透镜，用于调整透镜垂直平面位置的调整架机构，以及分别连接调整架机构和透镜用于驱动透镜相对于调整架机构转动的转动机构。通过调整架机构可调整透镜的在垂直平面上的位置，使光束可以从透镜的中心位置射出，提高光斑形状调节装置的调节效果；再通过转动机构驱动透镜转动，即可实现椭圆光斑的长短轴方向的切换，实现对光斑形状的调整，本光斑形状调节装置具有结构简单，适用性好，调节效果好，调节效率高等特点。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种光斑形状调节装置及设备。

背景技术

LED晶元激光划片过程中激光光束从光纤激光器中平行射出后，一般形成的圆形光斑直径在5mm左右，光束经过反射、调制、扩束、分束、合束后聚焦成um级的小光斑。在上游工段晶圆来料比较单一、来料质量较好的情况下，普通圆形光斑经过上述过程后即能满足切割要求。但随着市场需求变化，行业产品随之发生改变，切割材料厚度、衬底、密度、切割道宽度会有差异，需要经常调节光路光斑的形状变成椭圆以及调整椭圆光斑的长短轴的方向与晶圆切割道的方向平行或垂直，以改善切割工艺效果，提高产品良率。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种光斑形状调节装置及设备，用于调节光斑形状，从而切割工艺效果，提高产品良率。

本实用新型的技术方案如下：

本实用新型提供一种光斑形状调节装置，包括用于改变光斑形状的透镜，用于调整透镜垂直平面位置的调整架机构，以及分别连接调整架机构和透镜且用于驱动透镜相对于调整架机构转动的转动机构。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述转动机构包括设置有内圈和外圈的轴承，与内圈固定连接的镜片座，与内圈连接的用于驱动内圈转动的驱动组件；所述外圈与调整架机构固定连接。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述驱动组件包括与内圈固定连接的驱动块，与调整架机构螺纹连接用于驱使驱动块运动的第一调节螺丝，以及驱使驱动块顶靠在第一调节螺丝上的弹性顶靠组件。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述调整架机构包括固定架，可沿固定架上下滑动的第一活动架，可沿第一活动架左右滑动的第二活动架，以及用于驱使固定架、第一活动架、第二活动架紧靠在一起的弹性压紧组件；所述第二活动架与外圈连接。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述弹性压紧组件包括分别设置在固定架、第二活动架上的第一压紧件和第二压紧件，依次穿过固定架、第一活动架、第二活动架且两端连接第一压紧件和第二压紧件的拉伸弹簧。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述调整架机构还包括设置在固定架和第一活动架一侧的用于调整第一活动架位置的第一位置调整组件，以及设置在第一活动架和第二活动架一侧的第二位置调整组件。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述第一位置调整组件包括安装在固定架上的调整板，滑动穿设在调节板上的一端与第一活动架连接的拉杆，设置在拉杆杆和调整板之间为拉杆提供拉力的第一压缩弹簧，以及与调整板螺纹连接一端顶靠在第一活动架上的第二调节螺丝。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述调整架机构还包括对应设置在固定架和第一活动架上的第一导向槽和第二导向槽，以及设置在第一导向槽和第二导向槽上的第一导向杆。

本实用新型还提供一种光斑形状调节设备，包括滑轨，滑动设置在滑轨上的如以上任一项所述的两个光斑形状调节装置。

本实用新型的更进一步优选方案是：所述光斑形状调节设备还包括与滑轨平行设置的第二导向杆，以及连接第二导向杆和光斑形状调节装置用于固定或松开光斑形状调节装置的锁紧组件。