[实用新型]一种芯片清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921351826.7 申请日: 2019-08-20
公开(公告)号: CN211208394U 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 原子健;李晓杰;常小明 申请(专利权)人: 济源艾探电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 卓邦荣
地址: 459000 河*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片清洗装置,包括外箱(1),其特征在于,所述外箱(1)内部中间固定有分隔板(2),分隔板(2)将外箱(1)体分割为上空腔(3)和下空腔(4),所述上空腔(3)上设有清洗组件,清洗组件包括清洗箱(5),所述清洗箱(5)设置在分隔板(2)上,清洗箱(5)上沿清洗箱(5)周壁上固定有多个超声波发生器(6),分隔板(2)上固定有超声波换能器(7),所述清洗箱(5)与分隔板(2)之间设有弹簧(10),所述清洗箱(5)的中部设有置物板(11),清洗箱(5)的底部设有出水口,出水口连接有第一管道(12)且第一管道(12)伸出上空腔(3),所述下空腔(4)内设有过滤组件,过滤组件包括设置在外箱(1)体上的过滤板(13),过滤板(13)上方设有第二管道(14),第二管道(14)伸出外箱(1)体并固定在外箱(1)体上,所述第一管道(12)的伸出端与第二管道(14)的伸出端通过弯管相互连接,外箱(1)体上背离第二管道(14)伸出端的一侧固定有水泵(22),所述水泵(22)的进水口通过管道与下空腔(4)连通,水泵(22)的出水口可通过管道将液体输送到清洗箱(5)内。

2.根据权利要求1所述的一种芯片清洗装置,其特征在于,所述清洗箱(5)的下部设有多个上卡槽(8),所述分隔板(2)朝向清洗箱(5)的一面上设有多个与上卡槽(8)数量位置一一对应的下卡槽(9),所述清洗箱(5)与分隔板(2)之间设有多个弹簧(10),弹簧(10)的一端伸入上卡槽(8)内,弹簧(10)的另一端伸入下卡槽(9)内,所述清洗箱(5)上设有震动电机(21)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片清洗装置,其特征在于,所述过滤板(13)可拆卸的安装在外箱(1)上,所述下空腔(4)上背离水泵(22)进水口与下空腔(4)连通的一侧上设于污水排出口(15),污水排出口(15)上设有塞子(16)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片清洗装置,其特征在于,所述清洗箱(5)内不相邻的两面上设有滑槽(17),所述置物板(11)通过滑槽(17)滑动安装在清洗箱(5)内部。

5.根据权利要求1所述的一种芯片清洗装置,其特征在于,所述第一管道(12)伸出上空腔(3)的伸出端上安装有阀门(18)。

6.根据权利要求1所述的一种芯片清洗装置,其特征在于,所述第二管道(14)伸出下空腔(4)内的一端延伸至外箱(1)安装水泵(22)的一侧壁上,第二管道(14)的底部开均匀设有多个沿第二管道(14)轴线方向的分水口(19)。

7.根据权利要求1所述的一种芯片清洗装置,其特征在于,所述清洗箱(5)上设有防沉网(20),防尘网固定在置物板(11)与清洗箱(5)底部之间。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于济源艾探电子科技有限公司,未经济源艾探电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921351826.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top