[实用新型]一种射频离子源装置有效
| 申请号： | 201921356401.5 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN210467753U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 陈晓东 | 申请（专利权）人： | 常州鑫立离子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/16 | 分类号： | H01J27/16;H01J49/10 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 周颖洁 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 离子源 装置 | ||
1.一种射频离子源装置，具有绝缘电离罩(1)、射频线圈(2)、绝缘底座(3)和离子源盖板(4)；所述射频线圈(2)螺旋缠绕于绝缘电离罩(1)的外壁上，且两端通过射频感抗匹配网络与射频电源相连；所述绝缘底座(3)与绝缘电离罩(1)底部固定；所述离子源盖板(4)盖在绝缘电离罩(1)上方，离子源盖板(4)上设有盖板通孔；所述绝缘电离罩(1)的顶部开设有离子发射口(5)；其特征在于：所述射频线圈(2)的外侧套接有屏蔽罩(6)；所述屏蔽罩(6)的外侧螺旋缠绕有天线(7)；所述绝缘电离罩(1)通过阀门(10)和管道后与天线真空室(9)连通，绝缘电离罩(1)罩设于正离子收集极(14)且与正离子收集极(14)围合形成绝缘电离腔室；所述正离子收集极(14)开设有用于通入惰性气体的进气通道(15)，以及连通进气通道(15)和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔(8)。
2.根据权利要求1所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述绝缘电离罩(1)由双层陶瓷筒形成，双层陶瓷筒的内侧与外层中间空隙为冷却水道(11)。
3.根据权利要求2所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述冷却水道(11)的上下两端分别连接进水口(12)和出水口(13)。
4.根据权利要求2或3所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述进气通道(15)设有气体流量计；所述绝缘电离罩(1)内设有用于放电时测量绝缘电离罩(1)内压强的热偶真空计。
5.根据权利要求2或3所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述离子源盖板(4)用过密封圈和紧固件盖在绝缘电离罩(1)上方。
6.根据权利要求3所述的一种射频离子源装置，其特征在于：所述冷却水道(11)为螺旋式管道。
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