[实用新型]一种PERC电池清洗制绒系统

说明书

本实用新型公开了一种PERC电池清洗制绒系统，将硅片依次通过前酸清洗→纯水清洗→臭氧水清洗→粗抛→纯水清洗→臭氧水清洗→制绒→纯水清洗→臭氧水清洗→纯水清洗→后酸清洗→纯水清洗→慢提拉→烘干。本实用新型使用酸溶液、臭氧水、纯水进行分步处理，可以有效解决PERC电池制绒过程中硅片绒面表面出现白点、齿印、脏污清洗不干净的问题，同时制备的金字塔大小均匀，绒面反射率低。而且清洗制绒工序整体时间缩短，能耗减小，产量变大。同时化学品种类及使用量小，解决了部分环境污染问题。

技术领域

本实用新型涉及一种PERC电池清洗制绒系统，属于晶硅太阳电池制造技术领域。

背景技术

表面织构化是PERC电池制造工艺中的首要一环，是提高对入射光的吸收及对后续工艺匹配的重要工艺环节。对提升PERC电池的转换效率至关重要。目前产业化生产中对PERC电池的清洗制绒环节主要是利用化学湿法刻蚀。即利用酸碱等化学品的混合溶液对硅片进行清洗及碱的各项异性腐蚀对硅片进行刻蚀制绒。但是该清洗制绒方法存在以下缺点：例如硅片绒面表面出现白点、齿印、脏污清洗不干净等外观问题。同时绒面反射率较大，金字塔尺寸不均匀等性能问题。而且清洗制绒工序时间较长，化学品使用种类多、用量大等能耗及环境污染问题。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：解决了在PERC电池制绒过程中如何避免硅片绒面脏污的问题；如何使得制备的金字塔大小均匀，绒面反射率低的问题；如何减小清洗制绒工序整体时间以及减小使用化学品种类及使用量的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是提供了一种PERC电池清洗制绒系统，其特征在于，包括用于原始硅片进行前酸清洗处理的前酸洗槽、用于对前酸清洗处理后的硅片进行第一次纯水清洗的第一纯水清洗槽、对前三次纯水清洗后的硅片进行臭氧水清洗处理的臭氧水洗槽、对第一次臭氧水清洗处理后的硅片进行粗抛处理的粗抛槽、对粗抛后的硅片进行第二次纯水清洗的第二纯水清洗槽、对第二次臭氧水清洗处理后的硅片进行制绒处理的制绒槽、对制绒后的硅片进行纯水清洗的第三纯水清洗槽、对第三次臭氧水清洗处理后的硅片进行第四次纯水清洗的第四纯水清洗槽、对第四次纯水清洗处理后的硅片进行后酸清洗处理的后酸洗槽、对后酸清洗处理后的硅片进行第五次纯水清洗的第五纯水清洗槽、对第五次纯水清洗后的硅片进行预脱水的慢提拉槽、对预脱水后的硅片进行烘干的烘干槽。

本实用新型公开了一种PERC电池清洗制绒系统，将硅片依次通过前酸清洗→纯水清洗→臭氧水清洗→粗抛→纯水清洗→臭氧水清洗→制绒→纯水清洗→臭氧水清洗→纯水清洗→后酸清洗→纯水清洗→慢提拉→烘干。

本实用新型使用酸溶液、臭氧水、纯水进行分步处理，可以有效解决PERC电池制绒过程中硅片绒面表面出现白点、齿印、脏污清洗不干净的问题，同时制备的金字塔大小均匀，绒面反射率低。而且清洗制绒工序整体时间缩短，能耗减小，产量变大。同时化学品种类及使用量小，解决了部分环境污染问题。

附图说明

图1为一种PERC电池清洗制绒工艺的流程图；

图2为一种PERC电池清洗制绒系统的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。

实施例1

如图1所示，一种PERC电池清洗制绒工艺，包括以下步骤：

步骤(1)、将原始硅片放入到酸洗槽进行前酸清洗处理。其中，HF体积浓度为5％。HCL体积浓度5％，其余为纯水。酸清洗温度为20℃，酸清洗的时间为60S，同时进行循环鼓泡。

步骤(2)、将步骤(1)酸洗后的硅片放入到第一纯水清洗槽进行纯水清洗。纯水清洗的时间为60S，温度为25℃。