[实用新型]一种曝光机真空吸盘

权利要求书

1.一种曝光机真空吸盘，包括外壳(1)和吸盘腔(2)，所述吸盘腔(2)位于外壳(1)内腔，其特征在于：所述外壳(1)内部两侧固定连接有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)另一端固定连接有第一弹簧柱(4)，且支撑柱(3)通过第一弹簧柱(4)与吸盘腔(2)外壁两侧相连，所述外壳(1)内侧下方通过第二弹簧柱(5)与吸盘腔(2)外壁下方相连，所述吸盘腔(2)内壁两侧开设有卡口(6)，所述卡口(6)之间可拆卸连接有过滤装置(7)，所述过滤装置(7)包括环形架(8)、第一支撑架(9)和第二支撑架(10)，所述第一支撑架(9)和第二支撑架(10)均位于环形架(8)内侧，且第一支撑架(9)和第二支撑架(10)交错分布，所述第一支撑架(9)和第二支撑架(10)之间固定连接有过滤网(11)，所述第一支撑架(9)和第二支撑架(10)的交接处内腔均设置有中心定位块(12)，所述第一支撑架(9)内腔两侧均设置有卡杆(13)，且卡杆(13)位于中心定位块(12)两侧，所述卡杆(13)另一端均贯穿第一支撑架(9)并延伸至第一支撑架(9)外部两侧，所述第一支撑架(9)内腔底端开设有滑轨(14)，所述滑轨(14)内部滑动连接有滑动座(15)，且滑动座(15)上端与卡杆(13)底壁固定连接，所述卡杆(13)一端通过复位弹簧(16)与中心定位块(12)相连，所述卡杆(13)上方固定连接有移动块(17)，且移动块(17)另一端贯穿第一支撑架(9)并延伸至第一支撑架(9)外部上方。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机真空吸盘，其特征在于：所述第一支撑架(9)与第二支撑架(10)内部结构相同。

3.根据权利要求1所述的一种曝光机真空吸盘，其特征在于：所述环形架(8)外壁四周开设有与卡杆(13)相适配的开口(20)。

4.根据权利要求1所述的一种曝光机真空吸盘，其特征在于：所述吸盘腔(2)顶端固定连接有连接接头(18)，且连接接头(18)贯穿外壳(1)并延伸至外壳(1)外部上方。

5.根据权利要求1所述的一种曝光机真空吸盘，其特征在于：所述吸盘腔(2)外壁底端固定连接有密封圈(19)。