[实用新型]LPCVD和ALD两用布气装置

权利要求书

1.LPCVD和ALD两用布气装置，其特征在于：包括加热炉，加热炉炉口处设置有用于连接布气装置的紧固法兰，紧固法兰沿轴向远离加热炉的一侧设有两个同轴连接的布气法兰，两个布气法兰与紧固法兰通过螺栓配合连接，设沿布气法兰的轴向靠近加热炉的一侧为内、远离加热炉的一侧为外，所述位于外侧的那个布气法兰的外侧设有一个与布气法兰相匹配的炉口盖板。

2.根据权利要求1所述的LPCVD和ALD两用布气装置，其特征在于：所述的任意一个布气法兰形状为圆形，所述的布气法兰的周向内侧设有若干第一环形槽，所述的若干第一环形槽沿布气法兰轴向间隔布置，每个第一环形槽的开口侧均设有与第一环形槽相匹配的挡圈，挡圈的周向内侧与布气法兰周向内侧相平齐，每个第一环形槽与对应的挡圈形成一个环形气道，所述的每个挡圈周向均布有若干连通第一环形槽内外的通孔，所述的每个通孔上均设有与通孔相匹配的柱塞，所述的柱塞为实心柱塞或带有穿孔的柱塞，布气法兰周向外侧设有若干气孔，气孔在布气法兰外侧沿布气法兰周向间隔布置，所述的气孔与第一环形槽一一对应且相对应的气孔与第一环形槽相连通。

3.根据权利要求2所述的LPCVD和ALD两用布气装置，其特征在于：所述的布气法兰内设有一个沿布气法兰周向布置的环形水道，所述的环形水道内设有一个与环形水道相匹配的隔板，布气法兰周向外侧位置上对应环形水道中隔板的两侧处分别设有一个连通环形水道的通道。

4.根据权利要求2所述的LPCVD和ALD两用布气装置，其特征在于：所述的布气法兰至少一个轴向侧面上设有沿布气法兰周向布置的第二环形槽，所述的第二环形槽的开口处为收口结构。

5.根据权利要求2所述的LPCVD和ALD两用布气装置，其特征在于：所述的柱塞与通孔为螺纹配合。

6.根据权利要求2所述的LPCVD和ALD两用布气装置，其特征在于：相邻位置上的挡圈上的通孔位置上交错布置。