[实用新型]一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备

说明书

本实用新型公开了一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，包括机架，机架安装有倾斜平台，机架的一侧设置有液体收集箱，倾斜平台的中部设置有旋转固定部，旋转固定部包括外固定部和内旋转部，外固定部安装于倾斜平台，内旋转部滑动连接于外固定部内腔中，倾斜平台安装有电刷镀处理装置和固定支架，固定支架分别安装在倾斜平台的两端，电刷镀处理装置包括刷头、绝缘伸缩杆和刷镀滑轨，刷头滑动安装于刷镀滑轨，刷镀滑轨的两端分别安装于固定支架，绝缘伸缩杆的一端连接于刷头，绝缘伸缩杆的另一端连接于固定支架。本实用新型的加工设备提高电刷镀区域的电流密度和离子沉积速度，提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶绑定预处理技术领域，尤其是涉及一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备。

背景技术

传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，多段绑定导致旋转靶材段之间形成接缝，该接缝在磁控溅射中会影响镀膜的均匀性，因此采取一次整管绑定的旋转靶质量更优。

在对旋转靶的背管和靶材管在绑定前的预处理效果直接影响旋转靶绑定的粘结牢固度和焊合率，粘结牢固度和焊合率低使旋转靶在使用时出现导电不良、散热不均、易脱落的情况，严重影响产品的使用，因此对旋转靶的绑定前的预处理尤为重要。

其中靶材管的预处理是对靶材管的内壁进行电刷镀处理，在电刷镀通电时，靶材管的长度达到2.5米以上，因靶材管的长度过长，导致电刷镀区域的电流密度低，使电刷镀层的致密性低，离子的沉积速度慢，导致电刷镀效果差，电刷镀效率低。同时现有的旋转靶电刷镀平台为人工刷镀，生产效率低，刷镀膜层厚度等靠人工经验进行控制，刷镀膜的质量无法保证。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，对绑定前的靶材管内壁进行电刷镀处理，提高电刷镀区域的电流密度和离子沉积速度，提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率，提高电刷镀的自动化控制，减少人工操作，提供靶材管电刷镀的可控性，提高生产效率，提高生产质量。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，包括机架，机架安装有倾斜平台，机架的一侧设置有液体收集箱，倾斜平台的中部设置有旋转固定部，旋转固定部包括外固定部和内旋转部，外固定部安装于倾斜平台，内旋转部滑动连接于外固定部内腔中，倾斜平台安装有电刷镀处理装置和固定支架，固定支架分别安装在倾斜平台的两端，电刷镀处理装置包括刷头、绝缘伸缩杆和刷镀滑轨，刷头滑动安装于刷镀滑轨，刷镀滑轨的两端分别安装于固定支架，绝缘伸缩杆的一端连接于刷头，绝缘伸缩杆的另一端连接于固定支架。

进一步的技术方案中，所述机架内设置有升降驱动机构，升降驱动机构驱动连接所述倾斜平台的一端，倾斜平台的另一端铰接于机架，所述液体收集箱位于铰接有倾斜平台的机架一侧。

进一步的技术方案中，所述外固定部固定安装于所述倾斜平台的顶面，用于固定靶材管的所述内旋转部沿所述加工设备的长度方向为中空设置，所述旋转固定部包括旋转驱动装置，旋转驱动装置驱动连接内旋转部，内旋转部相对外固定部旋转。

进一步的技术方案中，所述电刷镀处理装置包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管和至少两个用于连接在所述靶材管外壁的阴极连接部，所述刷头设置有阳极连接管，阳极连接管的一端连接于刷头，阳极连接管的另一端连接直流电源的正极，电刷镀输液管的一端固定于刷头，电刷镀输液管的另一端插入电刷镀液，阴极连接部与靶材管同轴安装，阴极连接部设置有数量与阴极连接部数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与分别一阴极连接部，各负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极。

进一步的技术方案中，相邻的所述阴极连接部之间的距离设置在50cm-100cm，各阴极连接部间隔相等地设置于所述靶材管的外壁，阴极连接部围绕于所述靶材管的外壁。

进一步的技术方案中，所述刷头包括刷镀头、固定座和阳极连接部，阳极连接部安装于固定座的中部，刷镀头安装于阳极连接部。