[实用新型]洁净除静电装置

权利要求书

1.一种洁净除静电装置，其特征在于，包括：

机体，所述机体内限定有静电消除腔和散热平衡腔，所述静电消除腔与所述散热平衡腔连通且所述静电消除腔位于所述散热平衡腔上方，所述机体设有与所述静电消除腔连通的进气口和与所述散热平衡腔连通的出气口；

净化组件，所述净化组件设在所述机体上且与所述进气口连通以对进入所述进气口的气流进行净化；

除静电组件，所述除静电组件设在所述静电消除腔内且位于所述净化组件底部。

2.根据权利要求1所述的洁净除静电装置，其特征在于，所述进气口设于所述机体顶部，所述净化组件设在所述机体顶部。

3.根据权利要求1所述的洁净除静电装置，其特征在于，所述散热平衡腔与所述静电消除腔的压强差为4Pa-6Pa。

4.根据权利要求1所述的洁净除静电装置，其特征在于，所述净化组件为FFU空气净化器。

5.根据权利要求1所述的洁净除静电装置，其特征在于，还包括：

支撑部，所述支撑部设于所述机体且位于所述静电消除腔和所述散热平衡腔之间以将所述静电消除腔和所述散热平衡腔间隔开，所述支撑部沿其厚度方向设有多个安装孔；

多个平衡风扇，多个所述平衡风扇分别设于所述安装孔。

6.根据权利要求5所述的洁净除静电装置，其特征在于，所述支撑部形成矩形板体，所述支撑部的上方分别设有间隔开分布的第一凸台和第二凸台，所述第一凸台的上表面设有用于安装执行机构的执行机构安装面，所述第二凸台的上表面设有用于安装轨道输送机构的轨道安装面，所述平衡风扇位于所述第一凸台和所述第二凸台之间。

7.根据权利要求6所述的洁净除静电装置，其特征在于，所述平衡风扇的数量为6个且均匀分布于所述支撑部的三边。

8.根据权利要求1所述的洁净除静电装置，其特征在于，还包括：

底座，所述底座设于所述散热平衡腔且形成为板体，所述底座沿其厚度方向设有散热孔；

散热风扇，所述散热风扇设于所述散热孔。

9.根据权利要求8所述的洁净除静电装置，其特征在于，所述底座包括至少两个截面呈几字形的并排设置的钢板。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的洁净除静电装置，其特征在于，所述除静电组件形成为自下而上装配于所述净化组件底部的离子网。