[实用新型]极紫外光光罩基底及极紫外光光罩

权利要求书

1.一种极紫外光光罩基底，其特征在于，包括：

基板，所述基板包括热电材料；

导热层，所述导热层形成于所述基板上；以及

反射层，所述反射层形成于所述导热层上；

其中，所述反射层用于反射入射的极紫外光，所述导热层用于将所述反射层产生的热能传导至所述基板，所述基板用于将热能转化为电能。

2.根据权利要求1所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述热电材料包括碲化铋、碲化铅或者硅锗。

3.根据权利要求1或2所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述导热层包括导热系数高于1的材料。

4.根据权利要求3所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述导热系数高于1的材料为绝缘体。

5.根据权利要求1或2所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层包括依次堆叠的至少一层复合层；

所述复合层包括高折射层与低折射层；

所述高折射层包含的材料的折射率高于所述低折射层包含的材料。

6.根据权利要求5所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层上还形成有钌系保护层。

7.根据权利要求6所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层和所述钌系保护层之间还形成有阻挡层。

8.根据权利要求7所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述阻挡层包括钛、铝、镍、铂、铅、钨、钼、钴、铜、钛氮化物、铝氮化物、镍氮化物、铂氮化物、铅氮化物、钨氮化物、钼氮化物、钴氮化物、铜氮化物、钛硅化物、铝硅化物、镍硅化物、铂硅化物、铅硅化物、钨硅化物、钼硅化物、钴硅化物、铜硅化物、钛硅氮化物、铝硅氮化物、镍硅氮化物、铂硅氮化物、铅硅氮化物、钨硅氮化物、钼硅氮化物、钴硅氮化物或者铜硅氮化物。

9.根据权利要求3所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层包括依次堆叠的至少一层复合层；

所述复合层包括高折射层与低折射层；

所述高折射层包含的材料的折射率高于所述低折射层包含的材料。

10.根据权利要求9所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层上还形成有钌系保护层。

11.根据权利要求10所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层和所述钌系保护层之间还形成有阻挡层。

12.根据权利要求11所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述阻挡层包括钛、铝、镍、铂、铅、钨、钼、钴、铜、钛氮化物、铝氮化物、镍氮化物、铂氮化物、铅氮化物、钨氮化物、钼氮化物、钴氮化物、铜氮化物、钛硅化物、铝硅化物、镍硅化物、铂硅化物、铅硅化物、钨硅化物、钼硅化物、钴硅化物、铜硅化物、钛硅氮化物、铝硅氮化物、镍硅氮化物、铂硅氮化物、铅硅氮化物、钨硅氮化物、钼硅氮化物、钴硅氮化物或者铜硅氮化物。

13.根据权利要求4所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层包括依次堆叠的至少一层复合层；

所述复合层包括高折射层与低折射层；

所述高折射层包含的材料的折射率高于所述低折射层包含的材料。

14.根据权利要求13所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层上还形成有钌系保护层。

15.根据权利要求14所述的极紫外光光罩基底，其特征在于，所述反射层和所述钌系保护层之间还形成有阻挡层。