[实用新型]晶圆夹具的导电片

说明书

本实用新型为一种晶圆夹具的导电片，包含：输入部及多个输出部，所述输入部及各所述输出部设置于所述载盘上，所述输入部供以与电线电性连接，各所述输出部的其中一端连接所述输入部，各所述输出部的另一端与所述晶圆电性连接；所述载盘具有第一面，所述第一面上凹设有底槽，所述底槽具有环区及多个支线区，所述环区与各所述支线区连通，所述导电片的数量为多个，各所述导电片分别具有一个所述输入部及二个所述输出部，各所述导电片的所述输入部环绕设置于所述环区，而各所述导电片的所述二输出部分别设于各所述支线区；由于电流是经导电片分流并传递至晶圆，使晶圆夹具内电线的数量减少，而达成简化晶圆夹具内结构的功效。

技术领域

本实用新型为一种晶圆夹具的导电片，特别是关于电镀晶圆所使用的辅助制具。

背景技术

一般在晶圆电镀的工艺中，会将晶圆夹置于晶圆夹具内，并通过晶圆夹具与外部电源电性连接，使电力能够传导至晶圆，以让晶圆能够完成电镀作业：

进一步的说明，晶圆夹具内具有载盘，晶圆置放于载盘的其中一侧，而载盘的另一侧则连接许多电线，以让外部的电源能够将电力导至晶圆，然而，现有技术载盘的连接点须个别连接电线，因此电线的数量繁多，进而造成晶圆夹具内部的结构复杂、电线凌乱且容易缠绕，因此也增加了电线脱落、损坏的风险，进而影响电镀的质量，因此，需要一种解决前述问题的技术方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，解决现有技术的晶圆夹具电线凌乱、结构复杂且导电效果不佳的缺陷，进而提升晶圆电镀的效果。

为解决前述缺陷，本实用新型为一种晶圆夹具的导电片，适用于晶圆夹具，所述晶圆夹具具有载盘，所述载盘上供以置放晶圆，而所述晶圆夹具的导电片，包含：

输入部及多个输出部，所述输入部及各所述输出部设置于所述载盘上，所述输入部供以与电线电性连接，各所述输出部的其中一端连接所述输入部，各所述输出部的另一端与所述晶圆电性连接，所述载盘具有第一面，所述第一面上凹设有底槽，所述底槽具有环区及多个支线区，所述环区与各所述支线区连通，所述输入部装设于所述环区，而各所述输出部则分别组设于各所述支线区内，所述导电片的数量为多个，各所述导电片分别具有一个所述输入部及二个所述输出部，各所述导电片的所述输入部环绕设置于所述环区，而各所述导电片的所述二输出部分别设于各所述支线区。

在一较佳实施例中，所述导电片的形状为V型。

由于电流是经由各所述导电片传递至晶圆，使晶圆夹具内的电线数量减少，不仅简化晶圆夹具内的结构，在组设过程中将所述导电片组设于所述底槽内更为简便与容易，不仅降低了组设成本，更借由导电片导流而增加了导电效果，进而让电镀后所述晶圆上的镀层更加均匀。

附图说明

图1为本实用新型于一较佳实施例中的立体图。

图2为本实用新型于一较佳实施例中的立体分解图。

图3为本实用新型于一较佳实施例中另一角度的立体分解图。

图4为基于图1中4-4剖线的局部放大图

附图中符号标记说明：

晶圆夹具10 载盘11

第一面111 第二面112

底槽113 环区1131

支线区1132 导电孔114

导电固定座12 导电弹片13