[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置

权利要求书

1.一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，包括储液罐、缓存罐和消泡罐，其特征在于：所述储液罐通过第一输送管与缓存罐连接，缓存罐内设有过滤腔和缓存腔，缓存腔通过第二输送管与机台上的喷嘴连接；所述缓存腔内液体漫过过滤腔上端进入过滤腔内，使缓存腔上端悬浮的气泡进入过滤腔，过滤腔连通消泡罐，消泡罐上端连通真空泵抽取内部气压使消泡罐内气泡破裂，消泡罐设有回收管连接储液罐回收液体使用。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述第二输送管位于缓存腔的进液口外端包裹有滤筒，虑筒均匀分布有虑孔过滤液体中的气泡和大颗粒物质。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述第一输送管通过输送泵传输显影液，第一输送管伸入缓存腔液面的下端。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述第二输送管设有定量输送显影液的电动计量泵和第一电磁阀。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述回收管连接在消泡罐便于过滤掉悬浮气泡，回收管上安装有回收泵和第二电磁阀控制液体输送。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述储液罐、缓存罐和消泡罐内设有液位传感器，缓存罐位于缓存腔和过滤腔均设有液位传感器。

7.根据权利要求1所述的一种光刻胶匀胶显影机的供液消泡装置，其特征在于：所述过滤腔连通消泡罐的管路上设有第三电磁阀。