[实用新型]蚀刻剥离试验设备

说明书

本实用新型公开了蚀刻剥离试验设备，包括设备主体、腐蚀液储槽和鼓泡气槽，设备主体的中间部位固定连接有腐蚀液储槽，设备主体的内部一侧固定连接有腐蚀液储槽，腐蚀液储槽的顶端固定连接有鼓泡气槽，设备主体的底端固定连接有装置底座，设备主体的另一侧顶部嵌入连接有试验观察隔镜，试验观察隔镜体现了该装置的可实时观察性，废液排管体现了该装置的实用性，拉动贴合套对工作人员的手部起到了很好的保护作用，防滑底板很好的体现了蚀刻装置的防滑稳定性，腐蚀液储槽调节装置很好的体现了该装置的可调节性，多方式蚀刻装置很好的实现了多种蚀刻方式的一体化使用，适用于蚀刻设备的使用，在未来具有广泛的发展前景。

技术领域

本实用涉及蚀刻设备技术领域，具体为蚀刻剥离试验设备。

背景技术

在微电子工业中，湿法刻蚀是通过化学刻蚀液和被刻蚀物质之间的化学反应将被刻蚀物质剥离下来的刻蚀方法，按照蚀刻液与工件的接触方式主要分为喷淋蚀刻、浸泡蚀刻和鼓泡蚀刻等。

现有的蚀刻装置大多仅具备简单的浸泡蚀刻功能，无法将集鼓泡蚀刻和喷淋蚀刻于一体，一体化程度不足，且需要根据不同大小的工件配备不同的浸泡槽，较为麻烦，且增加了额外成本，蚀刻装置内装载有大量的腐蚀液，当装置遭受撞击产生晃动会将内部的染料洒出对装置造成污染，稳固性不足。

所以，如何设计蚀刻剥离试验设备，成为当前要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供蚀刻剥离试验设备，以解决上述背景技术中提出的蚀刻剥离试验设备操作一体化程度不足、增加了额外成本和稳固性不足的发生的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：蚀刻剥离试验设备，包括设备主体、腐蚀液储槽和鼓泡气槽，所述设备主体的内部一侧固定连接有腐蚀液储槽，所述腐蚀液储槽的顶端固定连接有鼓泡气槽，所述设备主体的底端固定连接有装置底座，所述设备主体的一侧顶部贯穿连接有工件装入口，所述设备主体的内部底部一侧固定连接有蚀刻浸泡槽，所述蚀刻浸泡槽的内部内侧嵌入连接有工件，所述工件的顶端固定连接有工件咬合件，所述工件咬合件的顶端活动连接有浸入伸缩杆，所述浸入伸缩杆的顶端固定连接有浸泡伸缩控制电机，所述蚀刻浸泡槽的底部一侧活动连接有隔板活动轮，所述隔板活动轮的一侧活动连接有浸泡液控制隔板，所述设备主体的底部活动连接有翻转切换滚轮，所述翻转切换滚轮的底部嵌入连接有鼓泡进气管，所述鼓泡进气管的顶端固定连接有鼓泡孔，所述鼓泡进气管的底部固定连接有喷淋进液管，所述喷淋进液管的底端固定连接有喷淋口，所述蚀刻浸泡槽的一端顶部固定连接有隔板升降套，所述隔板升降套的内部内侧嵌入连接有隔板伸缩柱，所述隔板伸缩柱的一端嵌入连接有伸缩限位螺栓。

优选的，所述装置底座的内部顶部贯穿连接有废液排管。

优选的，于所述废液排管的底端固定连接有防滑底板。

优选的，所述浸泡液控制隔板的一端固定连接有拉动贴合套。

优选的，所述设备主体的另一侧顶部嵌入连接有试验观察隔镜。

优选的，所述腐蚀液储槽调节装置由蚀刻浸泡槽底部一侧的隔板活动轮，隔板活动轮一侧的浸泡液控制隔板，蚀刻浸泡槽一端顶部的隔板升降套，隔板升降套内部内侧的隔板伸缩柱一端的伸缩限位螺栓共同组合而成。

优选的，所述设备主体底部的翻转切换滚轮，翻转切换滚轮底部的鼓泡进气管，鼓泡进气管顶端的鼓泡孔，鼓泡进气管底部的喷淋进液管和喷淋进液管底端的喷淋口共同组合而成多方式蚀刻装置。

与现有技术相比，本种实用新型的有益效果是:

1.该种蚀刻剥离试验设备，通过设置腐蚀液储槽调节装置，可手动调节隔板升降套的高度位置，以达到对浸泡槽高度进行调节，调节到符合的位置后将伸缩限位螺栓穿入隔板升降套内的隔板伸缩柱即可，从而很好的完成了对腐蚀液储槽的调节，无需另外配置浸泡槽，很好的体现了该装置的可调节性。