[实用新型]一种热喷涂涂层高通量检测装置

权利要求书

1.一种热喷涂涂层高通量检测装置，其特征在于，包括检测感应模块、零件支撑模块、及控制处理模块三部分；

所述的零件支撑模块包括底座、透明外壳、分区板、载物移动平台、样品夹具；透明外壳可拆卸的固定于底座上，形成封闭空间，载物移动平台安装于底座上，样品通过样品夹具夹持固定在载物移动平台上，分区板可拆卸的设置于透明外壳内用于将上述封闭空间隔为彼此隔绝的两部分，每部分空间中均含有部分样品，且其中一部分空间为密闭检测区，另一部分空间为常规检测区，在密闭检测区设置有气液进口和气液出口；

所述的检测感应模块包括AFM、FMM、SKPM和EN检测单元四个分区，AFM、FMM设于常规检测区，SKPM和EN设于密闭检测区，其中：

AFM检测单元包括AFM激光、微悬臂、AFM扫描探针、AFM面光电探测器，AFM激光与AFM面光电探测器均固定在透明外壳上，微悬臂一端与透明外壳活动连接，AFM扫描探针固定在微悬臂另一端上；

FMM检测单元包括FMM压划头、砝码、载荷力臂、电机、螺纹杆；螺纹杆竖直设置，一端与轴承固定安装于底座，另一端连接电机输出轴，载荷力臂一端与螺纹杆螺纹连接，另一端上部设置砝码杆，下部固定FMM压划头，砝码套在砝码杆上；

SKPM检测单元包括SKPM扫描探针、SKPM信号激光、SKPM信号检测器，SKPM信号激光和SKPM信号检测器均固定在分区板上，SKPM扫描探针与分区板活动连接；

EN检测单元包括电化学噪声探测头，该探测头固定在分区板上；

此外，检测感应模块还包括压电陶瓷扫描管和监控CCD，压电陶瓷扫描管内嵌于载物移动平台表面，样品固定后完全覆盖压电陶瓷扫描管；监控CCD用于实时监控检测情况；

所述的控制处理模块基于计算机实现，用于接收AFM扫描探针、AFM面光电探测器、FMM压划头、监控CCD、压电陶瓷扫描管、SKPM扫描探针、EN探测头、SKPM信号检测器的数据，并控制电机、AFM激光、SKPM信号激光的运行。

2.根据权利要求1所述的热喷涂涂层高通量检测装置，其特征在于，所述的分区板与透明外壳间设置玻璃胶实现密封，分区板与样品连接处设置橡胶密封圈实现密封。