[实用新型]一种电涡流位移传感器标定装置

权利要求书

1.一种电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：包括相对设置的电涡流位移传感器(1)、位移系统(2)；位移系统(2)连接有光栅尺(3)；还包括光栅尺读数头(4)；位移系统(2)相对电涡流位移传感器(1)进行移动时，光栅尺读数头(4)可对位移进行测量。

2.如权利要求1所述的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述电涡流位移传感器(1)的设置方式为，包括底板(5)；底板(5)上表面一侧竖直固定有安装台a(6)；安装台a(6)上水平开设有螺纹孔a(7)；电涡流位移传感器(1)穿过螺纹孔a(7)并与安装台a(6)螺纹连接。

3.如权利要求2所述的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述位移系统(2)包括固定于底板(5)上表面一侧的滚珠丝杠(8)；滚珠丝杠(8)的丝杠螺母(9)与安装台b(10)固接；安装台b(10)上表面固定有测试盘(11)；安装台b(10)侧面a水平固定有光栅尺(3)；滚珠丝杠(8)一端与伺服电机(15)的输出轴固接；测试盘(11)与电涡流位移传感器(1)相对设置。

4.如权利要求3所述的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述测试盘(11)的圆心与电涡流位移传感器(1)位于同一水平线。

5.如权利要求3所述的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述光栅尺读数头(4)的设置方式为，包括固定于底板(5)上表面的安装台c(12)；安装台c(12)位于滚珠丝杠(8)一侧；安装台c(12)上水平开设有螺纹孔b(13)；光栅尺读数头(4)穿过螺纹孔b(13)并与安装台c(12)螺纹连接；光栅尺读数头(4)与光栅尺(3)相对设置。

6.如权利要求5所述的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述电涡流位移传感器(1)与位移传感器显示器(14)电性连接。

7.如权利要求6所述的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述伺服电机(15)、伺服驱动器(16)、工控台(17)、光栅尺读数头(4)依次电性连接。

8.如权利要求1所述的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：还包括保护罩(18)；电涡流位移传感器(1)、位移系统(2)、光栅尺(3)、光栅尺读数头(4)均位于保护罩(18)内。

9.如权利要求2-7任一项所述的电涡流位移传感器标定装置，其特征在于：所述底板(5)采用铸铁制成。