[实用新型]一种插片机分片水路反冲装置及插片机

说明书

本实用新型公开了一种插片机分片水路反冲装置及插片机，该插片机分片水路反冲装置包括水箱、水泵、喷头、过滤器和排污管，过滤器包括进水部、过滤部和出水部，进水部与水泵相连，出水部与喷头相连，过滤部与进水部及出水部均相连，过滤部上设有反冲口；反冲口与外部水源或者外部气源相连，外部水源可朝向反冲口输送反冲水流，外部气源可朝向反冲口输送反冲气流，外部水源或者外部气源与反冲口之间设有反冲阀，排污管的一端连接在进水部和水箱的出水管之间。反冲水流或者反冲气流可将过滤部的杂物冲入排污管。该插片机分片水路反冲装置能够保证整个分片水路的通畅性，提高分片水路的分片效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，尤其涉及一种插片机分片水路反冲装置及插片机。

背景技术

现有的插片机分片水路，由于硅片切割过程中的硅粉、树脂版粉末、切割液等物质凝聚，会造成管路和喷头堵塞，目前的解决方法是在水箱或管路中增加过滤网或过滤器,在实际使用过程中需要根据过滤网堵塞的情况不定时的摘下进行清洗，但是在清洗过程中会混入碎硅片和杂物造成二次堵塞。此外，管道中的粘稠聚集物堵塞管道，需不定时的将喷头拆卸进行清洗，从而降低了插片机分片水路的分片效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种插片机分片水路反冲装置，该插片机分片水路反冲装置能够保证整个分片水路的通畅性，提高分片水路的分片效率。

本实用新型的另一个目的在于提出一种插片机，该插片机具有较高的分片效率。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

一种插片机分片水路反冲装置，包括依次相连的水箱、水泵和喷头，所述插片机分片水路反冲装置还包括：过滤器，所述过滤器包括进水部、过滤部和出水部，所述进水部与所述水泵相连，所述出水部与所述喷头相连，所述过滤部与所述进水部及所述出水部均相连，所述过滤部上设有反冲口；所述反冲口与外部水源或者外部气源相连，所述外部水源可朝向所述反冲口输送反冲水流，所述外部气源可朝向所述反冲口输送反冲气流，所述外部水源或者所述外部气源与所述反冲口之间设有反冲阀；排污管，所述排污管的一端连接在所述进水部和所述水箱的出水管之间，其中：所述反冲水流或者所述反冲气流可将所述过滤部的杂物冲入所述排污管。

在一些实施例中，所述的插片机分片水路反冲装置，还包括：反冲单向阀，所述反冲单向阀设在所述反冲阀与所述反冲口之间，所述反冲单向阀被配置为允许所述反冲气流或者反冲水流由所述反冲阀流向所述反冲口。

在一些具体的实施例中，所述的插片机分片水路反冲装置，还包括：减压阀，所述减压阀设在所述反冲单向阀和所述反冲阀之间。

在一些实施例中，所述排污管的一端连接在所述水泵和所述进水部之间，所述排污管与所述水泵之间设有第一单向阀，所述第一单向阀被配置允许液体由所述水泵流向所述排污管。

在一些具体的实施例中，所述排污管上设有排污阀。

在一些具体的实施例中，所述反冲源为气泵，所述排污管上还设有液体传感器，在液体的流动方向上，所述排污阀位于所述液体传感器的下游，所述排污阀可根据所述液体传感器的检测结果开闭。

在一些实施例中，所述排污管的一端连接在所述水箱的出水管与所述水泵之间，所述出水管上设有第二单向阀，在水流的流动方向上，所述第二单向阀位于所述排污管的上游，所述第二单向阀被配置允许液体由所述出水管流向所述水箱。

在一些实施例中，所述排污管上设有排污单向阀，所述排污单向阀被配置阻止液体由所述排污管流向所述水泵。

在一些实施例中，所述过滤器为Y型过滤器。

一种插片机，包括所述的插片机分片水路反冲装置。