[实用新型]一种真空气浮轴承及其性能检测装置

权利要求书

1.一种真空气浮轴承，该气浮轴承(101)包括进气口(102)，压缩气体从进气口(102)进入气浮轴承(101)内部，在轴承气浮面(109)与工件滑动面之间形成一定厚度的压力气膜；其特征在于：该气浮轴承(101)还包括至少一级抽气通道(110、111、112)，该至少一级抽气通道(110、111、112)沿轴承气浮面(109)的外部呈周向环绕向外设置。

2.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：抽气通道(110、111、112)为抽气沟槽，各级抽气沟槽的槽深相等或不相等。

3.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：气浮轴承(101)的形状为正方形、长方形、圆形或三角形。

4.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：抽气通道(110、111、112)为圆环状、三角形或矩形。

5.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：各级抽气通道(110、111、112)同心且等间隔或不等间隔排布。

6.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：真空气浮轴承(101)的各级抽气通道(110、111、112)由侧壁(107、108、106)间隔开，侧壁(107、108、106)的上表面与气浮轴承(101)的轴承气浮面(109)共面。

7.根据权利要求1所述的真空气浮轴承，其特征在于：每级抽气通道(110、111、112)都有单独的至少一个抽气孔(103、104、105)，该至少一个抽气孔(103、104、105)沿抽气通道(110、111、112)的周向等间隔或不等间隔排布。

8.根据权利要求7所述的真空气浮轴承，其特征在于：抽气孔(103、104、105)沿气浮轴承(101)的轴线方向设置在抽气通道(110、111、112)的下部，抽气孔(103、104、105)的直径小于或等于抽气通道110、111、112的宽度。

9.一种真空气浮轴承的性能检测装置，其特征在于：该检测装置包括：

真空室(201)；

分别与真空室(201)连接的多级抽气管路，每级抽气管路包括顺次连接的抽气真空计(217、213、206)、抽气真空阀(207、210、216)、抽气分子泵(208、211、215)、抽气机械泵(209、212、214)；

与真空室(201)连接的抽真空管路，抽真空管路包括顺次连接的抽真空真空阀(205)、抽真空分子泵(204)、抽真空机械泵(203)；

与真空室(201)连接的进气管路，进气管路包括顺次连接的进气真空阀(218)、气体压力控制器(219)、压缩气体容器(220)；

与真空室(201)连接的氮气管路，氮气管路包括与真空室依次相连的氮气真空阀(223)和氮气容器(224)；

与真空室(201)连接的一真空室真空计(202)。

10.根据权利要求9所述的性能检测装置，其特征在于：该性能检测装置还包括：质谱仪管路，质谱仪管路包括与真空室(201)依次相连的质谱仪真空阀(222)和质谱仪(221)。