[实用新型]单晶炉阶梯式下料装置有效
申请号: | 201921396793.8 | 申请日: | 2019-08-27 |
公开(公告)号: | CN211005715U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 袁玉平 | 申请(专利权)人: | 江苏拜尔特光电设备有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/02 |
代理公司: | 宜兴市兴宇知识产权代理事务所(普通合伙) 32392 | 代理人: | 杜振军 |
地址: | 214264 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 阶梯 式下料 装置 | ||
本实用新型涉及一种单晶炉阶梯式下料装置,它包括下料通道,在所述下料通道内连接设有若干挡料板,它们分成两列相对分布,并且两列挡料板错位设置形成阶梯式结构,所述挡料板由碳碳板和硅板复合而成,所述碳碳板和硅板的厚度比为(2‑4):1。本实用新型可以降低物料下落势能,减小杂质进入。
技术领域
本实用新型涉及一种下料口结构,具体涉及一种单晶炉用新型下料口结构。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的生产工艺流程一般如下:先将一定量的多晶硅原料放入坩埚中,加热至熔化,在拉杆下端装夹籽晶,沉浸到熔化的晶体原料中,将拉杆缓缓向上提拉,同时缓慢旋转,最终生长出圆柱体形状的单晶硅棒。
目前,单晶炉的下料口是直通的,物料直接落入液面,会使液面产生较大波动,从而影响拉晶质量;另外,下料口是由石英材质制成,炉内温度可达1300℃以上,在长期使用过程中,石英会软化,物料下落会夹带石英杂质进入液体。
发明内容
发明目的:本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种可以降低物料下落势能,减小杂质进入的单晶炉阶梯式下料装置。
技术方案:为了解决上述技术问题,本实用新型所述的单晶炉阶梯式下料装置,它包括下料通道,在所述下料通道内连接设有若干挡料板,它们分成两列相对分布,并且两列挡料板错位设置形成阶梯式结构,所述挡料板由碳碳板和硅板复合而成,所述碳碳板和硅板的厚度比为(2-4):1。
两列挡料板中每列挡料板的大小相同,两列挡料板的外端连接面重合。
两列挡料板中左右相邻两个挡料板的水平长度之和大于同一方向下料通道的水平长度。
两列挡料板中最下端的挡料板的下端口高于单晶炉炉内液面。
所述碳碳板和硅板的厚度比为3:1。
所述硅板覆盖在碳碳板的正面及侧面。
有益效果:本实用新型与现有技术相比,其显著优点是:本实用新型整体结构设置合理,采用若干挡料板,物料经过挡料板进入液面,大大降低其直接落入液面的势能,从而使液面波动减小,提高拉晶质量,挡料板由碳碳板和硅板复合而成,碳碳板主要起支撑作用,而硅板可以减少杂质进入液体,降低污染风险。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型中挡料板的结构图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
如图1和图2所示,本实用新型所述的单晶炉阶梯式下料装置,它包括下料通道1,在所述下料通道1内连接设有若干挡料板2,它们分成两列相对分布,并且两列挡料板2错位设置形成阶梯式结构,两列挡料板2中左右相邻两个挡料板2的水平长度之和大于等于同一方向下料通道1的水平长度,两列挡料板2中最下端的挡料板2的下端口高于单晶炉炉内液面,所述挡料板2由碳碳板3和硅板4复合而成,所述硅板4覆盖在碳碳板3的正面及侧面,所述碳碳板3和硅板4的厚度比为3:1。本实用新型整体结构设置合理,采用若干挡料板,物料经过挡料板进入液面,大大降低其直接落入液面的势能,从而使液面波动减小,提高拉晶质量,挡料板由碳碳板和硅板复合而成,碳碳板主要起支撑作用,而硅板可以减少杂质进入液体,降低污染风险。
本实用新型提供了一种思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围,本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
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