[实用新型]一种蓝宝石单面抛光片厚度不良返抛装置

权利要求书

1.一种蓝宝石单面抛光片厚度不良返抛装置，其特征在于，所述蓝宝石单面抛光片厚度不良返抛装置包括抛光机主体、抛光机头、机台盘(1)、抛光垫(2)和用于吸附返抛晶片的晶片载盘(3)，其中：

所述机台盘(1)与所述抛光机主体可拆卸连接，所述抛光机头与所述抛光机主体连接，所述晶片载盘(3)与所述抛光机头可拆卸连接，所述晶片载盘(3)位于所述机台盘(1)的上方，且所述晶片载盘(3)的晶片吸附面与所述机台盘(1)的上表面相对；

所述抛光垫(2)之间设有粘附胶层，所述抛光垫(2)通过粘附胶层与所述机台盘(1)的上表面连接；

所述蓝宝石单面抛光片厚度不良返抛装置还包括抛光液添加装置(4)，所述抛光液添加装置(4)与所述抛光机主体连接且所述抛光液添加装置(4)的添加口位于所述机台盘(1)的上方；

所述机台盘(1)的盘面为凹面、凸面或者环形凹凸面。