[实用新型]磁流体密封传动装置的冷却结构

说明书

本实用新型涉及一种磁流体密封传动装置的冷却结构，包括：转轴，与转轴通过上轴承枢接的上壳体，与转轴通过下轴承枢接的下壳体，装于上壳体内侧围的上磁极片，装于下壳体内侧围的下磁极片，装于转轴上且与上磁极片对应的上磁流体，装于转轴上且与下磁极片对应的下磁流体，设于上壳体中的上轴承冷却道、上磁流体冷却道，设于下壳体中的下轴承冷却道、下磁流体冷却道；上磁流体冷却道的出口与上轴承冷却道的进口、上轴承冷却道的出口与下轴承冷却道的进口、下轴承冷却道的出口与下磁流体冷却道的进口均通过连接管连通。所述的磁流体密封传动装置的冷却结构对轴承和磁流体进行冷却，不影响轴承和磁流体正常工作，提高轴承和磁流体使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及磁流体密封技术领域，尤其是一种磁流体密封传动装置的冷却结构。

背景技术

磁流体密封技术由于其结构和性能上的优越性，在刻蚀机，单晶硅炉、真空钎焊炉、真空熔炼炉、化学气相沉积、离子镀膜、液晶再生等真空设备上得到了广泛应用；中国专利公开号为CN102864437A的发明专利，公开了一种用于MOCVD设备的旋转装置，其旋转主轴通过磁流体密封装置与马达连接；传统的磁流体密封装置，存在工作时会发热升温影响轴承和磁流体正常工作，降低轴承和磁流体使用寿命的不足，因此设计一种对轴承和磁流体进行冷却，不影响轴承和磁流体正常工作，提高轴承和磁流体使用寿命的磁流体密封传动装置的冷却结构，成为亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服目前的磁流体密封装置，存在工作时会发热升温影响轴承和磁流体正常工作，降低轴承和磁流体使用寿命的不足，提供一种对轴承和磁流体进行冷却，不影响轴承和磁流体正常工作，提高轴承和磁流体使用寿命的磁流体密封传动装置的冷却结构。

本实用新型的具体技术方案是：

一种磁流体密封传动装置的冷却结构，包括：转轴，与转轴通过上轴承枢接的上壳体，与上壳体连接且与转轴通过下轴承枢接的下壳体，装于上壳体内侧围的上磁极片，装于下壳体内侧围的下磁极片，设于转轴与上磁极片之间的上磁流体，设于转轴与下磁极片之间的下磁流体，设于上壳体中且设有进口和出口的上轴承冷却道、设有进口和出口的上磁流体冷却道，设于下壳体中且设有进口和出口的下轴承冷却道、设有进口和出口的下磁流体冷却道；上磁流体冷却道的出口与上轴承冷却道的进口、上轴承冷却道的出口与下轴承冷却道的进口、下轴承冷却道的出口与下磁流体冷却道的进口均通过连接管连通。所述的磁流体密封传动装置的冷却结构，通过上磁流体冷却道、上轴承冷却道、下轴承冷却道、下磁流体冷却道，对上磁流体、上轴承、下轴承、下磁流体进行冷却，不影响轴承和磁流体正常工作，提高轴承和磁流体使用寿命。

作为优选，所述的上轴承冷却道包括：设于上壳体外侧围且与上轴承相对的上轴承冷却环槽，盖住上轴承冷却环槽且与上壳体连接的上封圈；上轴承冷却道的进口和出口位于上封圈上；上封圈由两个上半封圈连接构成；下轴承冷却道包括：设于下壳体外侧围且与下轴承相对的下轴承冷却环槽，盖住下轴承冷却环槽且与下壳体连接的下封圈；下轴承冷却道的进口和出口位于下封圈上；下封圈由两个下半封圈连接构成。上封圈由两个上半封圈连接构成，下封圈由两个下半封圈连接构成，便于安装。