[实用新型]一种三甲基铟低温提纯装置有效
| 申请号： | 201921407163.6 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN211328764U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 顾宏伟;茅嘉原;严金林;邓辉 | 申请（专利权）人： | 苏州普耀光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D5/00;C07F5/00 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 甲基 低温 提纯 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：包括提纯原料釜、接收罐、真空保护装置和真空泵，提纯原料釜内装有固体三甲基铟物料，所述提纯原料釜上连接有高纯载气管路，高纯载气经由该高纯载气管路进入提纯原料釜中，该提纯原料釜通过一伴热管与所述接收罐连接，所述接收罐又通过一尾气管与所述真空保护装置连接，该真空保护装置通过一抽真空管与所述真空泵连接，所述提纯原料釜连接有低温加热装置，所述伴热管上绕设有电加热管，所述接收罐内设有冷凝装置，所述真空保护装置包括冷阱和杜瓦罐，该冷阱设置于杜瓦罐内，冷阱与杜瓦罐之间设置有液氮，所述尾气管与所述冷阱连接，冷阱通过所述抽真空管与所述真空泵连接。
2.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述提纯原料釜上设有用于测试提纯原料釜内压力的压力表。
3.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述提纯原料釜内设有用于测试提纯原料釜内温度的提纯釜内温度计。
4.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述接收罐内设有用于测试接收罐内温度的接收罐内温度计。
5.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述接收罐的底部设有电子秤。
6.根据权利要求1所述的一种三甲基铟低温提纯装置，其特征在于：所述高纯载气管路上设有控制阀。
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