[实用新型]用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣

权利要求书

1.一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，卡匣存放蒸镀金属掩膜板用于OLED制程工艺；其特征在于，所述卡匣包括卡匣主体，所述卡匣主体包括底板、顶板、若干侧立柱以及若干支撑板，顶板位于底板上方，若干侧立柱均匀分布在顶板与底板两侧，且分别与顶板、底板固定连接，若干支撑板自上而下等间距固定在侧立柱上，位于顶板与底板之间，形成若干层；每层支撑板上分别设置有若干垫板以及前后左右四组限位块；所述金属掩膜板固定在金属掩膜板支架上并放置在垫板上，前后左右四组限位块分别限制在金属掩膜板四侧；所述顶板上设置有供MCT搬送的吊点治具；若干卡匣叠放，相邻卡匣之间设置有定位销组；所述顶板、底板、侧立柱、支撑板的材质均为铝合金，表面分别氧化；所述垫板、限位块、吊点治具、定位销组的材质均为不锈钢，表面分别均涂布有类金刚石涂层。

2.根据权利要求1所述的一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，其特征在于，所述类金刚石涂层的厚度为0.5～8μm，硬度为1000～9000HV。

3.根据权利要求1所述的一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，其特征在于，所述顶板上还设置有若干定位块、若干导向块以及若干加强筋；所述定位块、导向块的材质均为不锈钢，表面分别涂布有类金刚石涂层；所述加强筋的材质为不锈钢，表面拉丝，或所述加强筋的材质为铝合金，表面氧化；所述顶板与侧立柱、顶板与定位块、顶板与导向块、顶板与加强筋之间均通过沉孔与螺栓配合固定连接，所述沉孔开槽，螺栓为带中心孔螺丝。

4.根据权利要求3所述的一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，其特征在于，所述加强筋共四个，两两一组，分别位于顶板两端。

5.根据权利要求1所述的一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，其特征在于，所述侧立柱与底板之间通过底板固定角件固定连接，所述底板两侧还分别设置有侧导向板，所述底板底部还设置有底部垫板；所述侧导向板、底部垫板的材质均为不锈钢，表面分别拉丝或镜面；所述侧立柱与底板固定角件及侧导向板之间区域开槽，且设置有排水孔。

6.根据权利要求1所述的一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，其特征在于，所述吊点治具与顶板之间通过螺栓固定连接，螺栓穿过顶板向上并伸入吊点治具内，固定连接吊点治具与顶板。

7.根据权利要求1所述的一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，其特征在于，所述顶板、底板的材质均为铝合金；所述底板上均匀分布设置有若干孔，所述顶板挖空。

8.根据权利要求1所述的一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，其特征在于，所述支撑板由左右相对的两个支撑板单体共同构成，所述支撑板单体为U型板，其上均匀分布设置有若干孔。

9.根据权利要求1所述的一种用于存放蒸镀金属掩膜板的带涂层卡匣，其特征在于，所述定位销组包括相互配合的定位销与带孔定位立柱，所述定位销安装在下一个卡匣的顶部，所述带孔定位立柱安装在上一个卡匣的底部；卡匣叠加时，带孔定位柱套入定位销。