[实用新型]料盘吸取装置

说明书

本实用新型提供的一种料盘吸取装置，其包括第一支撑盘体和第二支撑盘体，所述的第一支撑盘体和第二支撑盘体之间设置有支撑柱体，使得第一支撑盘体和第二支撑盘体之间形成容置空间；所述的第一支撑盘体上设置有若干个通孔，所述的通孔内设置有吸真空装置；所述的容置空间内设置有夹取装置。其中所述的吸真空装置以三个为组件均布于第一支撑盘体上，由于三角形是比较稳定的吸取面，这样若干个具有组件组成的部件吸取料盘能够稳定的吸取料盘。如果一个组件中的真空吸盘位置位于料盘的通槽上，那么至少有一个吸真空装置失真空，真空阀断开保证不会由于其余两个真空装置真空而导致盘体失稳。

技术领域

本实用新型涉及一种用于夹取料盘的吸取装置。

背景技术

用于存放半导体元器件的料盘如图1所示。这些料盘存放于静电箱内如图2 所示。在料盘的存取过程中，为了提升效率将采用机械手自动夹取料盘，本实用新型就提供了一种料盘吸取装置能够有效的保证料盘在被移取过程中稳定有效。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种料盘吸取装置，其目的是，提供一种料盘吸取装置，能够有效的吸取料盘。

一种料盘吸取装置，其包括第一支撑盘体和第二支撑盘体，所述的第一支撑盘体和第二支撑盘体之间设置有支撑柱体，使得第一支撑盘体和第二支撑盘体之间形成容置空间；所述的第一支撑盘体上设置有若干个通孔，所述的通孔内设置有吸真空装置；所述的容置空间内设置有夹取装置。

进一步的，以相对位置成三角形的三个通孔构成一组均匀布置于第一支撑盘体的表面。

进一步的，所述的夹取装置其上端固定于第二支撑盘体的下表面，所述的夹取装置包括气缸，所述的气缸的下部设置有能够横向扩张的夹头，所述的夹头略突出于所述的第一支撑盘体的下表面。

进一步的，所述的夹头还设置有盘片。

进一步的，所述的第二支撑盘体上设置有定位孔。

进一步的，所述的吸真空装置包括吸盘和吸真空阀。

本实用新型提供的一种料盘吸取装置，其有益效果在于，其包括吸真空装置和夹取装置两个用于吸取或夹取料盘的部件，其中所述的吸真空装置以三个为组件均布于第一支撑盘体上，由于三角形是比较稳定的吸取面，这样若干个具有组件组成的部件吸取料盘能够稳定的吸取料盘。如果一个组件中的真空吸盘位置位于料盘的通槽上，那么至少有一个吸真空装置失真空，真空阀断开保证不会由于其余两个真空装置真空而导致盘体失稳。进一步的，所述的夹取料盘部件包括一个气缸和可扩张的夹头，夹头深入料盘中间的通孔中而后扩张撑住料盘通孔的内侧面提升吸取料盘的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

附图1为本实用新型中料盘吸取装置的结构示意图一；

附图2为本实用新型中料盘吸取装置的结构示意图二；

附图3为本实用新型中料盘吸取装置吸取料盘的结构示意图；

附图4为本实用新型中机械手和料盘吸取装置结合在一起的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

一种料盘吸取装置，其如图1和图2所示，其包括第一支撑盘体1和第二支撑盘体2，所述的第一支撑盘体1和第二支撑盘体2之间设置有支撑柱体3，使得第一支撑盘体1和第二支撑盘体2之间形成容置空间。

所述的第一支撑盘体1上设置有若干个通孔，所述的通孔内设置有吸真空装置4；所述的容置空间内设置有夹取装置5。