[实用新型]一种空心阴极离子镀膜机

权利要求书

1.一种空心阴极离子镀膜机，包括机体(1)、设置于机体(1)内的腔室(2)、以及垂直安装于腔室(2)底壁的多个承接凸柱(3)，所述承接凸柱(3)呈均匀圆周排布，所述承接凸柱(3)上套接有置料架(4)，所述置料架(4)的顶部水平设置有置料通孔(43)；

其特征在于，还包括用于勾取和提举置料架(4)的接挂装置(6)、以及用于对接挂装置(6)进行支撑和转动的转运装置(5)，所述转运装置(5)安装于机体(1)上；所述接挂装置(6)包括顶端与转运装置(5)相连并由转运装置(5)驱动水平旋转的连杆(61)、固定安装于连杆(61)远离转运装置(5)一端的接挂气缸(62)、固定于接挂气缸(62)的活塞杆的接挂电机(63)、以及与接挂电机(63)的转轴相连并由接挂电机(63)驱动以水平旋转的接挂盘(64)，所述接挂盘(64)的底部设置有多个与置料通孔(43)相对应的水平挂钩(65)，所述接挂电机(63)驱动接挂盘(64)转动以使水平挂钩(65)伸入或伸出置料通孔(43)，所述接挂气缸(62)通过活塞杆的伸缩以将接挂盘(64)抬高或降低。

2.根据权利要求1所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述转运装置(5)包括固定于机体(1)上的转运电机(51)，所述转运电机(51)的转轴朝上且固定连接有支撑杆(52)，所述支撑杆(52)远离转运电机(51)的一端与连杆(61)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述水平挂钩(65)围绕接挂盘(64)的轴线呈圆周均匀分布，且水平挂钩(65)包括与接挂盘(64)相连的纵杆(651)以及连于纵杆(651)远离接挂盘(64)一端的横勾(652)，所述横勾(652)均沿接挂盘(64)的转动方向水平设置，所述接挂盘(64)通过转动以使横勾(652)伸入或伸出置料通孔(43)。

4.根据权利要求3所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述接挂电机(63)的转轴与接挂盘(64)的同轴设置。

5.根据权利要求4所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述置料架(4)包括多个平行设置的置料盘(41)和穿过置料盘(41)轴心以将多个置料盘(41)相连的支撑管(42)，所述支撑管(42)套接于承接凸柱(3)上，所述置料通孔(43)设置于支撑管(42)远离腔室(2)底壁的一端。

6.根据权利要求5所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述置料盘(41)上设有多个用于盛放待镀器件的放置槽(44)，所述放置槽(44)以置料盘(41)的轴线为中心呈圆周设置。

7.根据权利要求6所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于， 所述机体(1)上还设有用于冷却已镀器件的冷却盘(7)，所述冷却盘(7)的轴线位于接挂盘(64)中心的运动路径上，所述冷却盘(7)上设有多个与置料架(4)相对应的承接凸柱(3)。

8.根据权利要求7所述的一种空心阴极离子镀膜机，其特征在于，所述接挂电机(63)为步进电机。