[实用新型]热回收装置有效

专利信息
申请号: 201921418325.6 申请日: 2019-08-29
公开(公告)号: CN211451964U 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 潘忠怀 申请(专利权)人: 北京七星华创集成电路装备有限公司
主分类号: F28D7/16 分类号: F28D7/16;F28F9/22
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;姜春咸
地址: 101312 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 回收 装置
【说明书】:

实用新型提供了一种热回收装置,其中,所述热回收装置包括:热回收腔室,所述热回收腔室具有进风口和出风口,所述进风口和所述出风口分别设置在所述热回收腔室的两个相对的壁上;设置在所述热回收腔室内的至少一个导流板,每个所述导流板上均设置有通风口;所述至少一个导流板将所述热回收腔室分为多个热回收子腔,所述多个热回收子腔沿所述进风口至所述出风口的方向排列,每个所述热回收子腔中均设置有换热管。本实用新型通过在热回收腔室中设置导流板以及通风口以形成空气流道来控制废热气体的流动方向,增加了热回收装置的换热面积,提高了换热效率。

技术领域

本实用新型涉及热回收技术领域,具体涉及一种热回收装置。

背景技术

节能环保是我们国家和社会可持续发展内在的必要理念,更是绿色低碳转型、生态文明建设、自然和谐共存的重要构成要素。

在液晶面板生产过程中,烘烤光刻胶(PR胶)的设备需要大量的热气体(230℃),耗电量较高。因此,现有技术中,往往通过热回收系统(Thermal Recycling Unit,TRU)对液晶面板生产过程中产生的废热气体进行回收后再利用,用来加热冷气体,减小耗电量。

具体地,热回收系统包括换热管,换热管的一部分在与废热气体充分接触后,可以吸收废热气体的热能;另一部分接触冷气体。通过将废热气体的热能传递给冷气体来加热冷气体,从而节省加热冷气体所需的电能,实现节能减排。

但是,现有技术的热回收系统在吸收废热气体热能的过程中,受风量、温度以及风向等因素的影响,废热气体并不能和热回收系统中的所有换热管均充分接触,而是存在部分换热管没有吸收热能,或吸收热能效率较低,导致废热气体在经过热回收系统时的换热面积较小,换热效率低。而且,经过热回收系统的废热气体,其温度仍然很高(通常高于120℃),不利于直接排放至大气中,而是需额外的冷却装置对废热气体进行冷却,增加了整体设备的成本。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种热回收装置。

本实用新型提供一种热回收装置,其中,所述热回收装置包括:

热回收腔室,所述热回收腔室具有进风口和出风口,所述进风口和所述出风口分别设置在所述热回收腔室的两个相对的壁上;

设置在所述热回收腔室内的至少一个导流板,每个所述导流板上均设置有通风口;

所述至少一个导流板将所述热回收腔室分为多个热回收子腔,所述多个热回收子腔沿所述进风口至所述出风口的方向排列,每个所述热回收子腔中均设置有换热管。

可选地,所述导流板的数量为多个,且任意两个相邻的所述导流板的所述通风口的位置不同。

可选地,多个所述导流板包括依次设置的第一导流板、第二导流板以及第三导流板;

所述第一导流板上设置有至少两个所述通风口,至少两个所述通风口对称地分布在所述第一导流板轴线的两侧;

所述第三导流板上设置有至少两个所述通风口,至少两个所述通风口对称地分布在所述第三导流板轴线的两侧;

所述第二导流板上的所述通风口在所述第一导流板上的投影位于所述第一导流板上的至少两个所述通风口之间,所述第二导流板上的所述通风口在所述第三导流板上的投影位于所述第三导流板上的至少两个所述通风口之间。

可选地,所述通风口为开设在所述导流板上的通孔。

可选地,所述通风口为开设在所述导流板上的裂隙。

可选地,每个所述换热管上均设置有导热翅片,所述导热翅片呈片状,并套设在所述换热管上。

可选地,所述热回收腔室包括多个侧壁和与所述多个侧壁相连的顶壁,所述进风口和所述出风口分别设置在相对的两个侧壁上;

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