[实用新型]一种夹持机构及电镀装置

说明书

本实用新型公开一种夹持机构及电镀装置，夹持机构包括相对可活动且可拆卸地固定的两个夹框；电镀装置包括夹持机构。其中，两个夹框可在限位状态与打开状态之间切换，在限位状态下，两个夹框的相邻于空心内腔的一周内侧壁上在相互抵接位置处围成槽口连通于空心内腔的限位凹槽的限位状态；限位凹槽用于供板材的四周边缘嵌入，限位凹槽槽底对板材的长度方向和宽度方向进行限位，板材不会从限位凹槽内脱离出来，避免掉板的现象发生；同时，限位凹槽的两槽壁之间的距离L₁大于板材的厚度L₀，以在两个槽壁之间形成供板材活动的活动间隙L₂，板材在其厚度方向上不会受到限位凹槽的两槽壁的夹紧力，避免板材因为夹紧力过大，损伤板材表面的现象发生。

技术领域

本实用新型涉及夹具的技术领域，具体涉及一种夹持机构及电镀装置。

背景技术

在电镀行业中，需要对板材上电镀所需厚度的金属层，需要通过夹持机构将板材夹持住，并将板材悬空在相应的电镀槽内，使电镀槽内溶液中的金属离子电镀在板材的表面上。比如，对表面上附有导电层的硅片进行电镀金属铜，或者对线路板表面上进行电镀铜等。

现有的夹持机构大多数如图1所示的结构，其包括第一夹框1a和第二夹框2a，第一夹框和第二夹框的一端通过合页3a铰接连接，第一夹框和第二夹框均能够朝向二者相互靠近方向转动，以使得第一夹框与第二夹框重叠并且相互面对的表面之间形成夹持区域，以将板材的边缘夹持在第一夹框和第二夹框正对的表面之间，再采用锁紧件将第一夹框和第二夹框锁紧；相反，松开锁紧件，第一夹框和第二夹框均能够朝向二者相互远离方向转动，以使第一夹框与第二夹框分离，实现将板材从夹持区域取出。

但是，该夹持机构在夹持板材时，第一夹框与第二夹框之间形成的夹紧力不易过大，否则容易在板材上形成应力集中，会损伤板材表面，甚至引起板材易碎的现象发生；该夹紧力也不易过小，否则板材容易从第一夹框和第二夹框之间脱落，发生掉板现象，不能实现板材的夹持作用。因此，现有的夹持机构在夹持板材时，夹紧力不好控制，很容易出现损伤板材的现象或出现掉板现象，难以满足在不损伤板材的同时防止掉板的现象发生。

实用新型内容

因此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有的夹持机构在夹持板材时，难以满足在不损伤板材的同时防止掉板的现象发生的缺陷。

为此，本实用新型提供一种夹持机构，包括相对可活动且可拆卸地固定的两个夹框，两个所述夹框可在二者的空心内腔重叠且固定时，两个所述夹框的相邻于所述空心内腔的一周内侧壁上在相互抵接位置处围成槽口连通于所述空心内腔的限位凹槽的限位状态与两个所述空心内腔分离的打开状态之间切换；

所述限位凹槽用于供板材的四周边缘嵌入，所述限位凹槽的两槽壁之间的距离L₁大于所述板材的厚度L₀，以在两个槽壁之间形成供板材活动的活动间隙。

可选地，上述的夹持机构，两个所述夹框相互面对的第一表面中，至少有一个所述第一表面的一周上设有凹陷的台阶，所述台阶的台阶面与各自所在夹框的空心内腔相邻且连通；在所述限位状态下，所述台阶与其正对的另一个所述夹框的第一表面之间围成所述限位凹槽。

可选地，上述的夹持机构，两个所述第一表面的一周上均设置所述台阶，两个所述台阶之间形成所述限位凹槽。

可选地，上述的夹持机构，所述活动间隙L₂为0.1～1倍的所述板材厚度L₀。

可选地，上述的夹持机构，至少一个所述夹框采用导电材料制成。