[实用新型]一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置

权利要求书

1.一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，包括：

真空管路(7)，为一真空的空心腔室；

氩气枪(2)，设置于所述真空管路(7)的一侧，用于产生氩气束(8)，并将氩气束(8)输送至所述真空管路(7)内；

汇聚管路(6)，设置于所述真空管路(7)的另一侧，且其与所述真空管路(7)连通；

所述真空管路(7)内，沿着所述氩气束(8)的流动方向依次间隔设置有电离系统、加速系统和中和系统，其中：

电离系统，用于提供电场，将氩气束(8)电离为氩等离子体束(9)；

加速系统，用于提供电场，对所述氩等离子体束(9)进一步加速；

中和系统，用于过滤经加速的所述氩等离子体束(9)，并将其转换为氩原子束(10)，所述氩原子束(10)汇聚于所述汇聚管路(6)处并加速输出。

2.如权利要求1所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，所述电离系统，为包括多个间隔并列设置的带孔正电压金属板(3)，每个带孔正电压金属板(3)的中心均设置有通孔，所述通孔用于供所述氩气束(8)穿过，各个所述带孔正电压金属板(3)外接电压，各个所述外接电压按照所述氩气束(8)流动的方向为逐级降压。

3.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，所述加速系统，为一带孔接地金属板(4)，所述带孔接地金属板(4)的中心设置有通孔，所述通孔用于供所述氩等离子体束(9)穿过。

4.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，所述中和系统，为采用易于发射负电子或者亲和势低的金属制成的金属网(5)，所述金属网(5)的网孔用于供所述氩等离子体束(9)通过，所述金属网(5)包括多根金属丝，各个所述金属丝平行设置或交叉设置。

5.如权利要求4所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，所述金属网(5)的金属丝为交叉设置的，其形成的网孔形状为方形、圆形或者多边形。

6.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，所述氩气枪(2)的喷射压力大于1.5个大气压。

7.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，所述氩气束(8)的流量为10-300sccm，所述氩气枪(2)的喷射孔直径为0.05-0.5cm，所述汇聚管路(6)的直径为0.5-2cm。

8.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，设相邻带孔正电压金属板(3)之间的间距均为L1，设相邻所述带孔正电压金属板(3)和所述带孔接地金属板(4)之间的间距为L2，要求L1L2。

9.如权利要求1或2所述的一种表面活化过程中高速氩原子束获得装置，其特征在于，相邻的带孔正电压金属板(3)和带孔接地金属板(4)之间的间距为5-20cm，所述带孔正电压金属板(3)和带孔接地金属板(4)上的小孔直径均为0.5-2cm。