[实用新型]一种台面可导电的通用式转台

权利要求书

1.一种台面可导电的通用式转台，其特征是，包括工作台、冷却台(3)、芯轴(13)、底座(12)、旋转供电机构(15)，旋转供电机构(15)设置在底座(12)上，所述工作台和冷却台(3)通过绝缘连接装置以从上至下顺序连接；所述上工作台包括导电层(1)、绝缘层(2)；

所述导电层(1)上设有芯轴(13)；所述绝缘层(2)设有密封板(22)、外侧密封环(24)、外侧密封圈(25)，并在绝缘层(2)下表面设有密封圈Ⅰ(23)；

所述绝缘连接装置包括嵌件a(19)，螺钉(18)，丝堵Ⅰ(17)，嵌件b(20)，嵌件c(21)，所述丝堵Ⅰ(17)设置在导电层(1)中，与丝堵Ⅰ(17)连接的螺钉(18)经导电层(1)、绝缘层(2)延伸至冷却台(3)内，所述嵌件a(19)设在绝缘层(2)内，所述嵌件b(20)和嵌件c(21)设在冷却台(3)内。

2.如权利要求1所述的一种台面可导电的通用式转台，其特征是，所述冷却台(3)上设有冷却环槽(29)，所述冷却台(3)下端设有冷却机构(4)；所述冷却机构(4)包括冷却底盘(10)、冷却入口(28)、冷却出口(27)；所述冷却入口(28)与冷却出口(27)分别置于冷却底盘(10)底部两端，所述冷却底盘(10)安装在底座(12)上，所述冷却机构(4)通过密封圈Ⅱ(26)密封。

3.如权利要求2所述的一种台面可导电的通用式转台，其特征是，所述芯轴(13)外部设有隔热屏蔽层(5)，所述隔热屏蔽层(5)包括内层绝缘层(34)和外层绝缘层(33)，两层之间设有屏蔽网(32)，通过连接螺钉(36)与底座(12)相连接。

4.如权利要求3所述的一种台面可导电的通用式转台，其特征是，所述隔热屏蔽层(5)其顶部为尖角(31)，隔热屏蔽层(5)底部设有支撑板(35)、丝堵Ⅱ(37)。

5.如权利要求4所述的一种台面可导电的通用式转台，其特征是，所述密封板(22)、外侧密封圈(25)设在绝缘层(2)底部，所述密封圈Ⅰ(23)、外侧密封环(24)嵌入在绝缘层(2)下表面。

6.如权利要求5所述的一种台面可导电的通用式转台，其特征是，所述螺钉(18)贯穿并螺纹连接位于所述绝缘层(2)内的嵌件a(19)和位于冷却台(3)内的嵌件b(20)，所述嵌件b(20)外部设有嵌件c(21)。

7.如权利要求6所述的一种台面可导电的通用式转台，其特征是，所述冷却底盘(10)上设有电机(8)，其内部设有与电机(8)相连接的连接盘；所述冷却台(3)底部设有轴承(7)，冷却台(3)下方与电机(8)相连接；所述底座(12)一端设有侧收集器(16)；所述底座(12)下端还设有温度传感器(14)；整个装置外部设有外壳(9)，所述外壳(9)底部与固定座(11)连接。

8.如权利要求1-7任一项所述的一种台面可导电的通用式转台，其特征是，所述螺钉(18)处设有弹簧垫；所述的嵌件a(19)、嵌件b(20)材质为金属；所述的嵌件c(21)材质为花岗岩碎石；所述的绝缘层(2)材质为人造花岗岩；所述的外侧密封环(24)材质为金属；所述的冷却台(3)内在嵌件b(20)外设有靠肩，所述的靠肩为T型；所述底座(12)和丝堵Ⅱ(37)材质为绝缘材料。

9.如权利要求2所述的一种台面可导电的通用式转台，其特征是，所述密封圈Ⅱ(26)为旋转格莱圈。