[实用新型]薄膜体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 201921433456.1 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN211959173U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;张瑞珍 | 申请（专利权）人： | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/05;H03H3/02;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201313 上海市浦东新区万*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：支撑结构，所述支撑结构内部设置空气隙；
形成在所述支撑结构上的自下而上依次排列的下电极、压电层和上电极；
所述支撑结构包括第一晶圆，所述第一晶圆的第一表面设置凹槽；
形成在所述第一晶圆上的第一绝缘层，所述第一绝缘层覆盖所述凹槽，所述第一晶圆和所述第一绝缘层包围所述凹槽，所述凹槽构成所述空气隙。
2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，在垂直于所述第一晶圆的第一表面方向上，所述空气隙的纵截面图形为多边形。
3.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，
所述第一绝缘层包括第一氧化硅绝缘层。
4.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述压电层包括氮化铝压电层、氧化锌压电层以及锆钛酸铅压电陶瓷压电层中的任一一种。
5.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1-4任一所述的薄膜体声波谐振器。
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