[实用新型]一种柔性曝光机升降平台装置有效
申请号: | 201921438189.7 | 申请日: | 2019-09-02 |
公开(公告)号: | CN210691040U | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 余燕青;甘泉 | 申请(专利权)人: | 东莞市友辉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K3/06 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人: | 许彬 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 曝光 升降 平台 装置 | ||
1.一种柔性曝光机升降平台装置,其特征在于:具有升降座(1)及支撑座(2),支撑座(2)提供平行竖立的四根立柱(21),四根立柱(21)分布在支撑座(2)的四个方向,每根立柱(21)上均设有直线导轨(22),且不同立柱(21)上的直线导轨(22)设置方位不同;所述升降座(1)对应四根立柱(21)的方位分别设有安装支脚(11),在安装支脚(11)上设有沿立柱(21)方向延伸的U形滑套(12),U形滑套(12)对应套接直线导轨(22)。
2.根据权利要求1所述的一种柔性曝光机升降平台装置,其特征在于:所述支撑座(2)是四脚方桌形式,升降座(1)嵌设在支撑座(2)的内下侧,升降座(1)的中部下侧吊挂旋转电机(3),旋转电机(3)具有竖立穿过升降座(1)和支撑座(2)的主轴(31),支撑座(2)的中部设有避让通孔(23),避让通孔(23)供主轴(31)穿设,且避让通孔(23)的孔径大于主轴(31)的外径。
3.根据权利要求1所述的一种柔性曝光机升降平台装置,其特征在于:所述立柱(21)上与直线导轨(22)相背对的一侧设有外凸的平衡加强筋(24),平衡加强筋(24)沿立柱(21)的长度方向延伸。
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