[实用新型]一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置

权利要求书

1.一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置，其特征在于，包括隔振机构本体部分、检测部分及控制部分；

所述隔振机构本体部分包括气浮隔振平台，所述气浮隔振平台设置载物平台，所述载物平台分别与X方向隔振机构及Y方向隔振机构连接，所述X方向隔振机构与Y方向隔振机构的结构相同，均包括柔顺结构及放大型压电促动器；所述柔顺结构固定在直线滑轨上，音圈电机安装在直线滑轨上方，音圈电机的输出端通过音圈电机输出连接块与隔振机构进行连接，音圈电机的往复运动带动隔振机构在直线滑轨上运动，所述载物平台上设置质量块；

所述检测部分包括加速度传感器及激光测振仪，所述加速度传感器安装在音圈电机输出连接块，检测X方向及Y方向音圈电机输入振动信号，振动信号经过电荷放大器及dSPACE控制卡输入计算机；所述激光测振仪设置在气浮隔振平台的周围，检测质量块在X及Y两个方向的微振动信号,经过激光测振仪控制器输入计算机；

所述控制部分包括音圈电机驱动器及APA控制器，所述计算机根据输入信号得到控制信号，经过dSPACE控制卡分别输入音圈电机驱动器及APA控制器，进一步驱动音圈电机及放大型压电促动器运动。

2.根据权利要求1所述的一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置，其特征在于，所述载物平台的底部沿圆周对称安装三个气浮垫，气浮垫通过气动回路持续供气。

3.根据权利要求1所述的一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置，其特征在于，所述放大型压电促动器共有四个，其中两个串联之后与另外两个放大型压电促动器并联，四个放大型压电促动器位于柔顺结构中间位置。

4.根据权利要求3所述的一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置，其特征在于，所述柔顺结构采用对称式并联解耦全柔性结构，具体为平行四边形柔性连杆结构。

5.根据权利要求2所述的一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置，其特征在于，所述气动回路由气泵、气动三联件、开关阀驱动电路、二位三通阀以及四通管接头构成。