[实用新型]硅片清洗用石英槽

权利要求书

1.一种硅片清洗用石英槽，包括具有方形结构的外槽（31）和内槽（32），所述外槽（31）和内槽（32）套设呈双层结构，所述内槽（32）的槽口面低于所述外槽（31）的槽口面，所述内槽（32）的槽口位置为锯齿结构，用于使所述内槽（32）中的清洗液溢流至外槽（31）中，所述外槽（31）和内槽（32）之间设置有循环管路，其特征在于：所述内槽（32）中设置有用于放置硅片的支撑架（4），所述支撑架（4）与所述内槽（32）不接触，所述支撑架（4）由设置在所述外槽（31）外侧的立架（1）所支撑。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述支撑架（4）为石英矩形框，两长边上对称设置有用于卡设所述硅片的锯齿凸起（43）。

3.根据权利要求2所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述支撑架（4）的两短边上分别固定设置有第一L型石英杆（41）和第二L型石英杆（42），所述第一L型石英杆（41）和第二L型石英杆（42）的自由端均伸出所述外槽（31）的横截面并通过连接件（5）夹紧固定于所述立架（1）上。

4.根据权利要求3所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述外槽（31）的槽口一侧横跨盖设有一进液板（2），所述第一L型石英杆（41）的自由端横跨设置在所述进液板（2）的上表面的上方。

5.根据权利要求4所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述进液板（2）上设有进液孔（21）和监测孔（22），所述进液孔（21）可用于注液；所述监测孔（22）用于插入辅助监测装置。

6.根据权利要求1至5任一所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述外槽（31）的一侧底端设置有外槽循环及外排液管（311），所述外槽循环及外排液管（311）与所述循环管路及一泵相连接后连通至所述内槽（32）。

7.根据权利要求6所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述内槽（32）的一侧下部设置有用于与所述循环管路连通的内循环管（321）和用于排出内槽液体的内排液管（322），所述内循环管（321）的外端与所述泵相连。

8.根据权利要求7所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述内循环管（321）的内端伸入至所述内槽（32）中且其管壁上设有大小均匀的出液孔（3211）。

9.根据权利要求1至5任一所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述外槽（31）的一侧上端设有安全管（312）。

10.根据权利要求1所述的硅片清洗用石英槽，其特征在于：所述硅片清洗用石英槽的槽体内还设置有电热偶护管。