[实用新型]一种手动多维精定位装置

说明书

本实用新型公开了一种手动多维精定位装置，包括三个的按顺序连接的平面微调机构，所述三个的平面微调机构所在的三个的平面两两相互垂直；所述平面微调机构包括一个的基座板、一个的调节板、一个的调节单元以及用于连接所述基座板和所述调节板的转轴单元，所述调节板和所述基座板可绕所述转轴单元相对转动；所述平面微调机构的基座板与其相邻的所述平面微调机构的调节板固定连接。本实用新型的精密度高、结构简单、模块化程度高且稳定性高。本实用新型属于定位装置技术领域。

技术领域

本实用新型涉及定位装置技术领域，尤其涉及一种手动多维精定位装置。

背景技术

手动微调精定位装置被广泛地应用于光学检测、精密加工、微型装配、半导体光刻等设备中。在光学检测设备中，手动微调精定位装置需要搭载各种光学元件和检测仪器，以进行高精密度的测量或检验作业，随着工业生产对光学检测设备的精密度以及检测效率的要求越来越高，市场对手动微调精定位装置的精密度、稳定性以及可调整的维度的要求也越来越高。

现有技术中，手动多维精定位装置通常采用的结构是X轴平动、Y轴平动和绕Z轴转动串联，如公告号为CN204868798U的实用新型专利公开了一种多维的工作台，其包括可使外围设备朝向X轴或Y轴方向移动的XY轴工作台、可使外围设备朝向Z轴方向移动的Z轴工作台以及可使外围设备作曲线移动的圆形工作台；Z轴工作台设置在XY轴工作台的台面上，圆形工作台设置在Z轴工作台的台面上。此实用新型专利公开的多维工作平台结构复杂、模块化程度低，在其生产过程中组装、制造的工艺也会相对复杂，导致生产成本较高，且其使用场景较为单一，无法很好的在倾斜、垂直甚至倒置的复杂场景下应用。

实用新型内容

鉴于上述现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的是提出一种高精密度、结构简单、模块化程度高且稳定性高的手动多维精定位装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种手动多维精定位装置，包括三个的依次连接的平面微调机构，所述三个的平面微调机构所在的三个的平面两两相互垂直；所述平面微调机构包括一个的基座板、一个的调节板、一个的调节单元以及用于连接所述基座板和所述调节板的转轴单元，所述调节板和所述基座板可绕所述转轴单元相对转动；所述平面微调机构的基座板与其相邻的所述平面微调机构的调节板固定连接。

进一步的，所述调节单元包括一个的设置于所述基座板一端的安装座、一个的安装于所述安装座上的驱动杆、一个的安装于所述安装座上的止动杆以及一个的固定连接于所述调节板上的调节杆，所述驱动杆和所述止动杆的活动端分别抵触于所述调节杆相对的两个侧面，所述驱动杆和所述止动杆的活动端均可沿其轴向往复运动。

进一步的，所述安装座包括两个的容置部，所述驱动杆和所述止动杆分别安装于对应的容置部上，所述调节杆的一端位于所述两个的容置部之间。

进一步的，所述驱动杆和所述止动杆均为微分头，所述微分头的固定套筒固定连接于所述容置部，所述微分头的螺杆抵触于所述调节杆的侧面。

进一步的，所述止动杆为可以轴向往复伸缩的弹性柱，所述弹性柱固定连接于所述容置部上，其活动端抵触于所述调节杆的侧面。

进一步的，所述转轴单元包括设置于所述基座板上的轴承座、安装于所述轴承座内的轴承以及转轴，所述转轴的一端安装于所述轴承内，其另一端固定连接于所述调节板上。

进一步的，所述转轴单元为螺钉。

进一步的，所述转轴单元设置于所述调节板的中心位置。

进一步的，所述平面微调机构上设有至少一个的用于限定所述基座板和所述调节板之间位置关系的锁紧单元。