[实用新型]冷阱装置以及扩散炉设备

权利要求书

1.一种冷阱装置，其特征在于，包括：

外壳体，所述外壳体包括第一进气口和第一出气口；

内壳体，所述内壳体位于所述外壳体内，且所述内壳体相对于所述外壳体可拆卸，所述内壳体包括第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一进气口相贯通，所述第二出气口与所述第一出气口相贯通；

冷却管路，所述冷却管路位于所述内壳体内。

2.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于，所述内壳体外壁与所述外壳体内壁贴合。

3.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于，所述内壳体外壁与所述外壳体内壁之间具有间隙。

4.根据权利要求3所述的冷阱装置，其特征在于，还包括：设置在所述内壳体外壁与所述外壳体内壁之间的第一连接通道，所述第一连接通道包绕所述第一进气口，所述第一进气口与所述第二进气口通过所述第一连接通道连通；设置在所述内壳体外壁与所述外壳体内壁之间的第二连接通道，所述第二连接通道包绕所述第二出气口，所述第一出气口与所述第二出气口通过所述第二连接通道连通。

5.根据权利要求4所述的冷阱装置，其特征在于，所述第一连接通道第一端固定设置在所述内壳体外壁，与所述第一端相对的第二端与所述外壳体内壁相接触；或者，所述第一连接通道第一端固定设置在所述外壳体内壁，与所述第一端相对的第二端与所述内壳体外壁相接触。

6.根据权利要求4所述的冷阱装置，其特征在于，所述第二连接通道第一端固定设置在所述内壳体外壁，与所述第一端相对的第二端与所述外壳体内壁相接触；或者，所述第二连接通道第一端固定设置在所述外壳体内壁，与所述第一端相对的第二端与所述内壳体外壁相接触。

7.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于，所述第二进气口与所述第二出气口在垂直于所述第二进气口方向上的投影区域错位。

8.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于，所述第二进气口与所述第二出气口在垂直于所述第二进气口方向上的投影区域部分或完全重合。

9.根据权利要求8所述的冷阱装置，其特征在于，还包括：位于所述内壳体内的导流片，所述导流片设置在所述第二进气口与所述第二出气口之间。

10.根据权利要求1所述的冷阱装置，其特征在于，所述内壳体与所述外壳体固定连接，所述固定连接方式包括卡扣式连接、磁吸式连接或螺纹连接。

11.根据权利要求10所述的冷阱装置，其特征在于，所述外壳体与所述内壳体中的一者还具有凹陷部，另一者具有适于与所述凹陷部相对准的凸起部。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的冷阱装置，其特征在于，所述内壳体的形状包括长方体。

13.一种扩散炉设备，其特征在于，所述扩散炉设备包括权利要求1～11中任一项所述的冷阱装置。