[实用新型]一种抛光液配置装置

说明书

本实用新型提供一种抛光液配置装置，粗抛单元包括粗抛原液组和粗抛混合桶，粗抛原液组与粗抛混合桶连通，粗抛混合桶与抛光机连通；精抛单元包括精抛原液组和精抛混合桶，精抛原液组与精抛混合桶连通，精抛混合桶与抛光机连通；表面活性单元包括表面活性原液组和表面活性混合桶，表面活性原液组与表面活性混合桶连通，表面活性混合桶与抛光机连通；纯水单元与粗抛混合桶、精抛混合桶和表面活性混合桶连通；在粗抛混合桶、精抛混合桶和表面活性混合桶内均设有循环泵，当纯水溶剂配置完毕后开始滴定原液溶质时循环泵开始循环工作。本实用新型可自动控制抛光液配置比例，改善硅片表面质量，自动化程度高，生产效率高。

技术领域

本实用新型属于半导体硅片抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光液配置装置。

背景技术

现有现有抛光液因供应装置占地面积大且供应过程繁琐，造成供应装置整体成本较高；配液的自动化水平低，主要还是人工配液，不仅会增加操作员的工作量而且还无法保证抛光液的配置精度，严重影响产品质量，无法满足现有生产技术要求，制约批量生产的推广，致使生产成本较高。

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种抛光液配置装置，尤其是适用于硅片抛光过程中抛光液的配置装置，解决了现有技术中抛光液配置过程繁琐，自动化程度低且配置精度差的技术问题，目的是为了改善硅片表面质量，降低了生产成本，提高了产品质量。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种抛光液配置装置，包括：

粗抛单元：包括粗抛原液组和粗抛混合桶，用于混合配置粗抛液并将混合后的粗抛液输送至抛光机中使用；所述粗抛原液组与所述粗抛混合桶连通，所述粗抛混合桶与所述抛光机连通；

精抛单元：包括精抛原液组和精抛混合桶，用于混合配置精抛液并将混合后的精抛液输送至抛光机中使用；所述精抛原液组与所述精抛混合桶连通，所述精抛混合桶与所述抛光机连通；

表面活性单元：包括表面活性原液组和表面活性混合桶，用于混合配置表面活性剂并将混合后的表面活性剂输送至抛光机中使用；所述表面活性原液组与所述表面活性混合桶连通，所述表面活性混合桶与所述抛光机连通；

纯水单元：与所述粗抛混合桶、所述精抛混合桶和所述表面活性混合桶连通，用于向所述粗抛混合桶、所述精抛混合桶和所述表面活性混合桶提供纯水溶剂；

在所述粗抛原液组、所述精抛原液组、所述表面活性原液组、所述粗抛混合桶、所述精抛混合桶和所述表面活性混合桶的输出端均设有供给泵和控制阀；

在所述粗抛混合桶、所述精抛混合桶和所述表面活性混合桶内均设有循环泵，当所述纯水溶剂配置完毕后开始滴定原液溶质时所述循环泵开始循环工作；

控制器：与所述供给泵、所述控制阀和所述循环泵连接，用于控制所述粗抛单元、所述精抛单元、所述表面活性单元和所述纯水单元的工作状态。

进一步的，所述粗抛原液组包括粗抛原液桶和KOH原液桶，所述粗抛原液桶和所述KOH原液桶分别与所述粗抛混合桶连通。

进一步的，在所述粗抛混合桶和抛光机之间设有加热器，用于加热从所述粗抛混合桶输出的粗抛液。

进一步的，在所述加热器处设有温度传感器，所述温度传感器与所述控制器连接，用以检测所述加热器的温度。

进一步的，所述加热器温度为22-26℃。

进一步的，在所述粗抛混合桶、所述精抛混合桶和所述表面活性混合桶内均设有液位传感器，以感应所述粗抛混合桶、所述精抛混合桶和所述表面活性混合桶中所述纯水溶剂高度。

进一步的，所述精抛原液组包括精抛原液桶，所述精抛原液桶数量为一个，与所述精抛混合桶连通。