[实用新型]一种旋回式复投法兰

说明书

本实用新型涉及一种旋回式复投法兰，设置在隔离仓内，包括旋转柱，复投法兰和旋板阀，复投法兰和旋板阀分别通过第一连杆和第二连杆连接在旋转柱上，复投法兰和旋板阀均能覆盖隔离仓底部的炉盖通孔，复投法兰向内侧伸出设有支撑板，支撑板为环状板或为均匀分布的突出板，突出板不少于3个。本实用新型的有益效果是：本方案适合不同尺寸大尺寸单晶的拉制，既能够有效解决隔离仓上沿外加复投法兰带来的不便，又能够有效实现密封，减少复投过程中如密封不严造成的炉内氧化，通过自动化代替人工操作，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型属于单晶硅制造技术领域，尤其是涉及一种旋回式复投法兰。

背景技术

在拉制直径介于240mm-310mm的直拉单晶硅的过程中，由于直径的扩大，必须对现有常规设备进行改造，首先必须保证喉口法兰的直径满足大尺寸单晶的直径且要有一定的安全距离，就JS105炉型举例来说，喉口法兰的内径远远不满足拉制大尺寸单晶的要求，所以需要对喉口法兰的内径进行外扩，但是外扩之后又不能满足现有车间复投桶法兰的要求，需要另在隔离仓上加装法兰，法兰本身重量较大，加装法兰时需要人工搬运，这样既增加了人员负重又会导致密封不严，容易造成炉内氧化的风险。

发明内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种一种旋回式复投法兰。

本实用新型采用的技术方案是：一种旋回式复投法兰，设置在隔离仓内，包括旋转柱，复投法兰和旋板阀，复投法兰和旋板阀分别通过第一连杆和第二连杆连接在旋转柱上，复投法兰和旋板阀均能覆盖隔离仓底部的炉盖通孔。

优选地，复投法兰向内侧伸出设有支撑板，支撑板为环状板或为均匀分布的突出板，突出板不少于3个。

优选地，复投法兰和旋板阀圆心到旋转柱的距离与炉盖通孔圆心到旋转柱距离相等。

优选地，炉盖通孔边缘处设有密封凸起，复投法兰和旋板阀底部设有密封槽，密封凸起和密封槽能够相互嵌合。

优选地，第一连杆和第二连杆分别连接在第一驱动环和第二驱动环上，第一驱动环和第二驱动环均可转动设置在旋转柱上，第一驱动环和第二驱动环均能够在旋转柱上圆周运动和垂直运动。

优选地，第一连杆通过螺栓固定在复投法兰外侧，第二连杆通过固定螺栓固定在旋板阀外侧。

本实用新型具有的优点和积极效果是：本方案适合不同尺寸大尺寸单晶的拉制，既能够有效解决隔离仓上沿外加复投法兰带来的不便，又能够有效实现密封，减少复投过程中如密封不严造成的炉内氧化，通过自动化代替人工操作，提高了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型一个实施例结构示意图；

图2是本实用新型一个实施例旋转柱结构示意图。

图中：

1、旋转柱 11、第一驱动环 12、第二驱动环

13、第一连杆 14、第二连杆 2、复投法兰

21、突出板 3、旋板阀 4、炉盖通孔

41、密封凸起 42、密封槽 5、隔离仓

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的一个实施例做出说明。