[实用新型]一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置有效
申请号: | 201921462125.0 | 申请日: | 2019-09-04 |
公开(公告)号: | CN210625394U | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 蒋海良 | 申请(专利权)人: | 嘉兴金瑞光伏科技有限公司 |
主分类号: | F27D21/00 | 分类号: | F27D21/00;H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 张淼 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低压 扩散 压力 监控 装置 | ||
1.一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置,包括壳体(1)、顶板(2)、显示屏(3)、凹槽一(4)、凹槽二(5)、压力传感器(6)、活动板(7)、滑块一(8)、螺纹连接口(9)、流动通道(10)、无纺布(11)、支撑杆一(12)、滑块二(13)、滑槽一(14)、压缩弹簧(15)、支撑杆二(16)、固定块(17)、连接板(18)、固定弹簧(19),其特征在于,所述壳体(1)的上端中间位置固定连接有顶板(2),所述壳体(1)的下端中间位置设有螺纹连接口(9),所述顶板(2)的下端底部设有凹槽一(4)和凹槽二(5),所述顶板(2)的下端中间位置固定连接有压力传感器(6),所述压力传感器(6)的一端设置在活动板(7)中间的内部,所述活动板(7)的两侧设有滑块一(8),所述活动板(7)的上端设有支撑杆一(12)和支撑杆二(16),所述支撑杆一(12)的上端稍下的两侧固定连接有滑块二(13),所述螺纹连接口(9)的内部设有流动通道(10),所述流动通道(10)的上端两侧固定连接有无纺布(11),所述顶板(2)的上端固定连接有显示屏(3)。
2.根据权利要求1所述的一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置,其特征在于:所述凹槽一(4)的两侧设有滑槽一(14)。
3.根据权利要求1所述的一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置,其特征在于:所述凹槽一(4)两端设有的滑槽一(14)内部设有压缩弹簧(15),且与滑块二(13)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置,其特征在于:所述凹槽二(5)中两侧设有固定块(17),且固定块(17)上面通过连接转轴固定连接有连接板(18),且连接板(18)的另一端与固定弹簧(19)进行固定连接,且固定弹簧(19)的另一端与凹槽二(5)的内部上端进行固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置,其特征在于:所述壳体(1)的两侧设有滑槽二,且滑块一(8)设置在滑槽二中。
6.根据权利要求1所述的一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置,其特征在于:所述支撑杆一(12)和支撑杆二(16)都对称设有两个。
7.根据权利要求1所述的一种低压扩散炉低压扩散压力监控装置,其特征在于:所述凹槽一(4)和凹槽二(5)都对称设有两个。
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