[实用新型]一种单晶炉用分体式坩埚

说明书

本实用新型提供一种单晶炉用分体式坩埚，包括埚体和埚托，所述埚体与所述埚托同轴设置，所述埚托置于所述埚体下端部，且所述埚托与所述埚体可拆卸连接。本实用新型设计的分体式坩埚，解决了现有技术中不易取出埚底料，且拆清石英坩埚困难的技术问题，最大限度地降低了碳碳坩埚埚壁的损伤程度，延长碳碳坩埚的使用寿命，降低了拆清时间，降低生产成本。

技术领域

本实用新型属于单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉用分体式坩埚。

背景技术

坩埚是直拉单晶炉最重要的热场件之一，坩埚的主要作用是保护石英坩埚在高温下不发生较大形变，使软化的石英坩埚在拉晶过程中维持稳定状态，保证单晶正常生长，保证单晶成晶率。

当前单晶炉所用的坩埚材质主要为碳碳复合材料，其结构为一体式结构，在碳碳坩埚内部设有用于盛放硅料的石英坩埚。当石英坩埚冷却后，由于热胀冷缩的缘故，石英坩埚与碳碳坩埚的埚体紧密接触，在拆清工序时取出石英坩埚非常困难，需使用特制工具对石英坩埚进行破碎处理，而在破碎过程中易损坏碳碳坩埚的埚体，对炭炭坩埚埚壁冲击力大，持续锤击会对碳碳坩埚造成机械损伤，降低碳碳坩埚的使用寿命，进而会增加热场的使用成本。

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种单晶炉用分体式坩埚，解决了现有技术中不易取出埚底料，且拆清石英坩埚困难的技术问题，最大限度地降低了碳碳坩埚埚壁的损伤程度，延长碳碳坩埚的使用寿命，降低了拆清时间，降低生产成本。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种单晶炉用分体式坩埚，包括埚体和埚托，所述埚体与所述埚托同轴设置，所述埚托置于所述埚体下端部，且所述埚托与所述埚体可拆卸连接。

进一步的，所述埚体为圆筒柱结构，所述埚体上端口内径大于所述下端口最小内径。

进一步的，所述埚体下端口最小内径是所述上端口内径的80-85％。

进一步的，所述埚体下端面为平整平面。

进一步的，所述埚体下端内侧面为圆锥台面，所述圆锥台面的小径面靠近所述埚体上端面设置，所述圆锥台面大径面远离所述埚体上端面设置。

进一步的，所述圆锥台面横截面夹角为90°。

进一步的，在所述埚托上端沿外侧设有凸台面，所述凸台面与所述埚体下端面相适配。

进一步的，所述埚托上端面中心为凹型圆弧面，所述圆弧面与所述埚体下端内侧面圆弧连接，且所述埚托中心高度小于所述埚托最外缘高度。

进一步的，所述埚托下端面设有一体设置的底座，所述底座中部设有开口朝外设置的凹槽。

进一步的，所述底座外圆直径小于所述埚托上端口最小内径。

与现有技术相比，本实用新型设计的分体式坩埚，使得埚体下部开设一圆型开口，增大埚体的应力释放面积，从而使石英坩埚内的底料与碳碳坩埚更易于分离，最大限度地降低拆卸难度；同时分体式设计的结构更易于拆卸清理冷却后的废旧石英坩埚，每拆卸一个石英坩埚，工时提高率近85％左右；降低了在拆卸石英坩埚时对碳碳坩埚内壁的锤击，降低了碳碳坩埚内壁的击打损伤程度，进而可延长碳碳坩埚的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的一种单晶炉用分体式坩埚的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的埚体的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例的A的放大示意图；

图4是本实用新型一实施例的埚托的结构示意图。

图中：