[实用新型]一种抛光液输送结构及双面抛光机

说明书

本实用新型公开一种抛光液输送结构,包括有上抛光盘,在所述上抛光盘上表面沿圆周均布设有贯通的通槽，在所述通槽沿上抛光盘径向方向的两端均设有滑槽，在两滑槽之间活动连接有移动板，在所述移动板上设有固定块，在所述固定块上表面分别贯通设有相同轴心的第一弧形通槽与第二弧形通槽，所述第一弧形通槽的半径大于第二弧形通槽的半径，在所述固定块内设有与第一弧形通槽同轴心的第一转盘与第二转盘，在所述第一转盘与第二转盘上分别设有第一油管与第二油管，所述第一油管设置在第一弧形通槽内，在所述第一转盘上表面贯通设有第三弧形通槽，所述第二油管分别设置在第二弧形通槽与第三弧形通槽内。

技术领域

本实用新型涉及一种抛光液输送结构及双面抛光机。

背景技术

双面抛光机是用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备；现有的双面抛光机的抛光液输送结构都是直接将输送油管固定在上抛光盘上，而抛光工件的形状及尺寸大小不一，从而抛光液很难输送到工件的每一个地方，工件的精度不能得到保证；因此，有必要设计一种可以让输送油管移动的抛光液输送结构。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决的技术问题是：提供一种抛光液输送结构及双面抛光机，能够解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种抛光液输送结构,包括有上抛光盘,在所述上抛光盘上表面沿圆周均布设有贯通的通槽，在所述通槽沿上抛光盘径向方向的两端均设有滑槽，在两滑槽之间活动连接有移动板，在所述移动板上设有固定块，在所述固定块上表面分别贯通设有相同轴心的第一弧形通槽与第二弧形通槽，所述第一弧形通槽的半径大于第二弧形通槽的半径，在所述固定块内设有与第一弧形通槽同轴心的第一转盘与第二转盘，在所述第一转盘与第二转盘上分别设有第一油管与第二油管，所述第一油管设置在第一弧形通槽内，在所述第一转盘上表面贯通设有第三弧形通槽，所述第二油管分别设置在第二弧形通槽与第三弧形通槽内，在所述固定块上设有能带动第一转盘与第二转盘单独或同时转动的驱动机构，根据工件造型尺寸的大小，可调节第一油管与第二油管的位置，从而使抛光液更充分的流在工件的每一个地方，能提高工件的精度。

优选地，所述通槽的数量为4个。

进一步地，所述驱动机构包括设置在第一转盘与第二转盘圆心处的第一内齿轮与第二内齿轮，在所述固定块内设有圆形空腔，所述第一内齿轮与第二内齿轮设置在圆形空腔内，在所述固定块上表面位于第一弧形通槽圆心处设有与圆形空腔相连通的通孔，在所述通孔内活动设有转轴，在所述转轴下端位于圆形空腔内设有能与第一内齿轮或第二内齿轮啮合的齿轮，所述圆形空腔的高度大于第一内齿轮、第二内齿轮与齿轮相加之和，在所述齿轮下端与圆形空腔底壁之间设有弹簧。

优选地，在所述转轴上端设有转钮。

优选地，在所述转钮外壁沿圆周均布有多个防滑条。

一种双面抛光机，包括上述的抛光液输送结构。

综上所述，本实用新型相对于现有技术其有益效果是：

本实用新型的抛光液输送结构及双面抛光机，结构简单，使用方便，通过此抛光液输送结构，根据工件造型尺寸的大小，可调节第一油管与第二油管的位置，从而使抛光液更充分的流在工件的每一个地方，能提高工件的精度。

附图说明

图1为本实用新型的立体示意图；

图2为本实用新型的半剖示意图；

图3为本实用新型的分解示意图。

具体实施方式

下面结合附图说明和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：