[实用新型]真空镀膜系统及其翻板阀

权利要求书

1.翻板阀，用于密封真空腔体(1)上的阀门通径(11)，其特征在于，包括：

用于封堵所述阀门通径(11)的阀板(2)，所述阀板(2)的一侧与所述真空腔体(1)的内壁转动连接；以及

与所述真空腔体(1)内壁转动连接的摆杆组件(3)，所述摆杆组件(3)包括与所述阀板(2)的另一侧铰接的第一摆杆(31)以及与所述真空腔体(1)的内壁转动连接的第二摆杆(32)，所述第一摆杆(31)和所述第二摆杆(32)相铰接；以及驱动所述第二摆杆(32)转动的驱动组件(4)。

2.如权利要求1所述的翻板阀，其特征在于：所述阀板(2)包括可封堵于所述阀门通径(11)内侧的封板(21)和与所述第一摆杆(31)相铰接的第三摆杆(22)，所述第三摆杆(22)的一端和所述封板(21)固定连接，所述第三摆杆(22)的另一端与所述真空腔体(1)内侧壁转动连接。

3.如权利要求2所述的翻板阀，其特征在于：所述真空腔体(1)的一侧内壁上凸设有第一固定座(5)，所述第一固定座(5)和所述第三摆杆(22)上均开设有供第一转轴穿过的固定孔(51)。

4.如权利要求3所述的翻板阀，其特征在于：所述固定孔(51)为腰形孔。

5.如权利要求2所述的翻板阀，其特征在于：所述第一摆杆(31)的厚度小于所述第二摆杆(32)和所述第三摆杆(22)的厚度。

6.如权利要求1至5任一项所述的翻板阀，其特征在于：所述驱动组件(4)包括第二固定座(41)、转动件(42)以及第二转轴(43)，所述第二固定座(41)固定于所述真空腔体(1)的内侧壁，所述第二摆杆(32)和所述第二固定座(41)通过所述第二转轴(43)转动连接，所述转动件(42)设于所述第二转轴(43)的轴端并带动所述第二转轴(43)转动。

7.如权利要求6所述的翻板阀，其特征在于：所述转动件(42)包括气缸、齿轮和齿条，所述气缸与所述齿条固定连接，所述齿轮和齿条相啮合，所述齿轮与所述第二转轴(43)固定连接。

8.如权利要求6所述的翻板阀，其特征在于：所述第二转轴(43)为圆柱体，且圆柱体的一侧边形成有切面。

9.真空镀膜系统，其特征在于：包括真空腔体(1)以及如权利要求1至8任一项所述的翻板阀，所述真空腔体(1)内侧形成有阀门通径(11)，且所述翻板阀设于所述阀门通径(11)一侧。

10.如权利要求9所述的真空镀膜系统，其特征在于：所述驱动组件(4)带动至少两个所述摆杆组件(3)。